[发明专利]准单晶铸锭炉的下加热器升降机构

说明书

技术领域

本发明属于准单晶铸锭炉技术领域，特别涉及铸锭炉中下加热器升降机构。

背景技术

准单晶是在多晶硅铸锭炉上采用铸造结晶的方式，经过一系列先进的工艺流程所生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在多晶硅铸锭炉石英坩埚的底部放置籽晶，并在真空状态下，采用精确分段控温，保证硅料融化时籽晶部分融化，由此长出单晶。目前国内的多晶硅铸锭炉主要是坩埚、平台不动，上发热体、侧发热体及上保温体上下移动。这种结构对多晶硅铸锭炉可以满足工艺要求，但由于原多晶硅铸锭炉没有下发热体，在生产准单晶硅的铸锭炉中就不能满足工艺要求。为了满足准单晶硅铸锭的要求，铸锭炉必须有严格的温度梯度及凝固速度控制，适合的界面形状，因此需要设置一个可做升降运动的下加热器。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可做升降运动的下加热器机构，以满足准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求：固液界面在最短时间内形成。

为实现上述目的，本发明采用以下方案：

一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，包括下发热体、固定件、电极立柱、固定板、垫块、托板、升降装置、传动软轴和电机。 

所述下发热体通过固定件安装在保温体内部的坩埚平台底面，下发热体安装有垂直设置的电极立柱，电极立柱向下伸出保温体及炉体后安装在固定板上，固定板通过绝缘垫板与托板连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。

本发明结构合理，使下发热体在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求。

附图说明

图1为本发明的准单晶硅铸锭炉及其下加热器升降机构结构示意图，

图2为图1的仰视图。

图中：1为炉体、2为固定件、3为坩埚平台、4下发热体、5为电极立柱、6为保温体、7为升降装置、8为电机、9为托板、10为垫块、11为固定板、12为传动软轴。

具体实施方式

以下结合实施例及其附图对本发明做进一步详细的说明：

见图1、图2，一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，包括下发热体4、固定件2、电极立柱5、固定板11、垫块10、托板9、升降装置7、传动软轴12和电机8。 

如图1、图2所示，所述下发热体4通过固定件2安装在保温体6内部的坩埚平台3底面；下发热体4安装有垂直设置的电极立柱5，电极立柱5向下伸出保温体6及炉体1后安装在固定板11上，固定板11通过绝缘垫板10与托板9连接；炉体1下固定设有升降装置7，升降装置7与托板9连接；托板9上设有传动软轴12及电机8，升降装置7由传动软轴12连接带动，传动软轴12由电机8连接带动。

所述电机8带动两根传动软轴12，传动软轴12通过高精度滚珠丝杠带动三个升降装置7同时旋转，升降装置7的丝杠旋转转换为托板9的上下运动，托板9带动下发热体4与坩埚平台3一起实现同时升降运动。

以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本发明的保护范围。