[发明专利]基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统有效
| 申请号： | 201310312221.8 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN103436847B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 郭俊 | 申请（专利权）人： | 无锡元创华芯微机电有限公司;江苏永康机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 震荡 反应 气体 控制 溅射 系统 | ||
1.一种基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统，包括真空腔室(1)及分别与所述真空腔室(1)相连通的反应气体管路(5)与载气管路(6)，所述真空腔室(1)内设置有相对的阳极晶圆载台(4)与阴极靶材(3)；其特征是：所述反应溅射系统还包括气体流量控制系统，所述气体流量控制系统包括计算机(7)、流量控制器(8)、反应气体质量流量计(9)及载气质量流量计(10)，所述反应气体质量流量计(9)与所述载气质量流量计(10)分别设置在所述反应气体管路(5)与所述载气管路(6)中，所述反应气体质量流量计(9)及所述载气质量流量计(10)分别与所述流量控制器(8)相连，所述流量控制器(8)与所述计算机(7)相连；所述计算机(7)通过所述流量控制器(8)控制所述反应气体质量流量计(9)，使从所述反应气体管路(5)进入所述真空腔室(1)的反应气体流量为周期性震荡流量。
2.按照权利要求1所述的基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统，其特征是：所述阳极晶圆载台(4)设置于所述真空腔室(1)的底部，所述阴极靶材(3)设置于所述真空腔室(1)的顶部，所述反应气体管路(5)与所述载气管路(6)分别设置于所述真空腔室(1)的侧壁上。
3.按照权利要求2所述的基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统，其特征是：所述反应气体管路(5)的出口位置与所述阴极靶材(3)相对应，所述载气管路(6)的出口位置与所述阳极晶圆载台(4)相对应。
4.按照权利要求1所述的基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统，其特征是：所述反应气体为氧气，所述载气为氩气，所述阴极靶材(3)为5N纯钒靶材。
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