[发明专利]一种真空泵及真空泵的抽气调节系统

权利要求书

1.一种真空泵的抽气调节系统，包括一管路，所述管路的两端分别设置有与待抽真空设备连接的第一接头、与真空泵的进气口连接的第二接头，其特征在于，所述管路上设置有蝶阀，还包括根据所述管路上的真空度调节所述蝶阀开启度的调节装置。

2.根据权利要求1所述的一种真空泵的抽气调节系统，其特征在于，所述调节装置包括具有左腔体和右腔体的进气调节器、根据所述左腔体与所述右腔体压力差而运动的薄膜式气缸及调节杠杆，所述薄膜式气缸设于所述进气调节器内，所述调节杠杆的两端分别与所述薄膜式气缸、所述蝶阀连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空泵的抽气调节系统，其特征在于，还包括真空调节阀、第一管道及第二管道，所述右腔体与大气连通，所述真空调节阀的一端通过第一管道与所述左腔体连接，所述真空调节阀的另一端与大气连通，所述第一管道上设置有分管口，所述分管口通过所述第二管道与所述管路连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空泵的抽气调节系统，其特征在于，所述真空调节阀上还设置有控制所述真空调节阀开启的自动开启器，所述自动开启器与所述管路连接。

5.根据权利要求3所述的一种真空泵的抽气调节系统，其特征在于，还包括过滤器，所述真空调节阀通过所述过滤器与大气连通。

6.根据权利要求2所述的一种真空泵的抽气调节系统，其特征在于，还包括拉簧，所述薄膜式气缸通过所述拉簧与所述调节杠杆连接。

7.根据权利要求3所述的一种真空泵的抽气调节系统，其特征在于，所述第二管道上设置有节流阀。

8.根据权利要求1至7任一所述的一种真空泵的抽气调节系统，其特征在于，所述管路上还设置有进气单向阀。

9.一种真空泵，包括具有进气口、排气口的真空泵本体，其特征在于，所述真空泵本体的进气口连接有权利要求1至8任一所述的一种真空泵的抽气调节系统。

10.根据权利要求9所述的一种真空泵，其特征在于，所述真空泵本体为螺杆真空泵本体。