[发明专利]双碱土磷酸盐发光薄膜、制备方法及其应用

权利要求书

1.一种双碱土磷酸盐发光薄膜，其特征在于，该双碱土磷酸盐发光薄膜的化学通式为(A_yB_1-y)₂P₂O₇：xMn²⁺，其中(A_yB_1-y)₂P₂O₇是基质，0.01≤x≤0.08，0.1≤y≤0.5，其中，A和B为Mg、Ca、Sr或Ba，且A与B不相同。

2.根据权利要求1所述的双碱土磷酸盐发光薄膜，其特征在于，所述双碱土磷酸盐发光薄膜的厚度为80nm～300nm。

3.一种双碱土磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将衬底装入化学气相沉积设备的反应室，并将反应室的真空度设置为1.0×10^-2Pa～1.0×10^-3Pa；

调节衬底的温度为250℃～650℃，转速为50转/分钟～1000转/分钟，在氩气气流的载体下，根据(A_yB_1-y)₂P₂O₇:xMn³⁺各元素的化学计量比将(C₅H₅)₂A、(C₅H₅)₂B、PH₃和甲基二茂锰通入反应室内；及

通入氧气，进行化学气相沉积得到化学通式为(A_yB_1-y)₂P₂O₇：xMn²⁺的双碱土磷酸盐发光薄膜，其中(A_yB_1-y)₂P₂O₇是基质，0.01≤x≤0.08，0.1≤y≤0.5，A和B为Mg、Ca、Sr或Ba，且A与B不相同。

4.根据权利要求3所述的双碱土磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述衬底为铟锡氧化物玻璃、掺氟氧化锡玻璃、掺铝的氧化锌或掺铟的氧化锌。

5.根据权利要求3所述的双碱土磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述氩气气流量为5～15sccm，所述氧气气流量为10～200sccm。

6.根据权利要求3所述的双碱土磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，将所述衬底装入所述反应室后先将所述衬底在200～700℃热处理10分钟～30分钟。

7.一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层的材料为双碱土磷酸盐发光薄膜，该双碱土磷酸盐发光薄膜的化学通式为(A_yB_1-y)₂P₂O₇：xMn²⁺，其中(A_yB_1-y)₂P₂O₇是基质，0.01≤x≤0.08，0.1≤y≤0.5，其中，A和B为Mg、Ca、Sr或Ba，且A与B不相同。

8.根据权利要求7所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的厚度为80nm～300nm。