[发明专利]加热器单元和热处理装置有效
| 申请号： | 201310286664.4 | 申请日： | 2013-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN103546996A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 中西识;藤田翁堂;福田洋人;巽智彦 | 申请（专利权）人： | 光洋热系统株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/06 | 分类号： | H05B3/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热器 单元 热处理 装置 | ||
1.一种加热器单元，其特征在于包括：
热源，放射红外线；
透光构件，与所述热源相对配置，把所述热源与气氛隔离，并且使所述红外线的至少一部分透过；以及
气体流通机构，构成为使冷却气体在形成于所述热源和所述透光构件之间的空间中流通。
2.根据权利要求1所述的加热器单元，其特征在于，所述气体流通机构包括与所述空间连接的气体导入口和气体排出口，所述冷却气体从所述气体导入口导入，在所述空间中流通，从所述气体排出口排出。
3.根据权利要求1或2所述的加热器单元，其特征在于，所述透光构件是石英玻璃制的。
4.一种热处理装置，其特征在于包括：
热处理炉，收容被处理件；
热源，放射红外线；
透光构件，与所述热源相对配置，把所述热源与所述热处理炉内的气氛隔离，并且使所述红外线的至少一部分透过；以及
气体流通机构，构成为使冷却气体在形成于所述热源和所述透光构件之间的空间中流通。
5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述气体流通机构包括与所述空间连接的气体导入管和气体排出管，冷却气体从所述气体导入管导入，在所述空间中流通，从所述气体排出管排出。
6.根据权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，所述气体导入管和所述气体排出管埋设在所述热处理炉中。
7.根据权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，所述气体流通机构还包括气流产生装置。
8.根据权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，所述气体流通机构还包括气流产生装置。
9.根据权利要求4～8中任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述冷却气体是大气。
10.根据权利要求4～8中任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述透光构件是石英玻璃制的。
11.根据权利要求4～8中任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括移动部件，所述移动部件使所述被处理件向所述热处理炉内的与所述透光构件的射出红外线一侧相对的区域移动。
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