[发明专利]浆料涂敷装置有效

专利信息
申请号: 201310277355.0 申请日: 2013-07-04
公开(公告)号: CN103537404A 公开(公告)日: 2014-01-29
发明(设计)人: 渡边正贤;渡边茂雄;德安良纪;后和昭典 申请(专利权)人: 株式会社日立制作所
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C11/10
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 吕林红
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 浆料 装置
【权利要求书】:

1.一种浆料涂敷装置,其特征在于,

该浆料涂敷装置包括:

储存部,其对向基板涂敷的浆料状的液体材料进行储存;

喷嘴,其将上述液体材料向上述基板喷出;

管路,其使上述液体材料从上述储存部流通至上述喷嘴;以及

搅拌机构,其装入上述管路并对在该管路中流通的上述液体材料进行搅拌,

上述搅拌机构以能够活动的方式装入上述管路。

2.根据权利要求1所述的浆料涂敷装置,其特征在于,

上述搅拌机构以从上述管路的敞开端插入到该管路的状态配置,

上述敞开端被能够装卸的密封构件封闭。

3.根据权利要求1所述的浆料涂敷装置,其特征在于,

上述管路构成为使上述液体材料与承载上述基板的平面大致平行地流通,

上述搅拌机构具有使上述液体材料沿着上述管路的内壁的周向进行旋转的功能。

4.根据权利要求1所述的浆料涂敷装置,其特征在于,

上述搅拌机构是静态混合器。

5.根据权利要求3所述的浆料涂敷装置,其特征在于,

上述搅拌机构是静态混合器。

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