[发明专利]一种模块化静态真空维持装置

说明书

技术领域

本发明涉及的是一种电真空领域的真空维持装置，尤其是一种模块化静态真空维持装置。

背景技术

在现有技术中，公知的技术是：随着等离子体技术、脉冲功率技术的进步以及复杂PIC模拟工具的发展，高功率微波技术也迅速地发展起来，尤其是在高功率微波源的研制方面取得了极大的进展,先后出现了很多种不同类型的高功率微波器件。绝大多数的高功率微波器件需在真空环境下工作，在实验室研究阶段，采用真空机组提供高功率微波器件的动态真空工作环境。随着高功率微波器件的工程化研制，静态真空维持技术的重要性越发凸显出来，而目为了维持设备器件能够在真空环境下工作，需要使用真空机组定期抽气，维持过程较为繁琐，同时成本相对较高，这是现有技术所存在的不足之处。

发明内容

本发明的目的，就是针对现有技术所存在的不足，而提供一种模块化静态真空维持装置的技术方案，该方案能够利用锆钒铁吸气片的自身特性，无需使用真空机组定期抽真空便可维持真空室内的真空环境。

本方案是通过如下技术措施来实现的：一种模块化静态真空维持装置，包括有真空室筒壁，真空室筒壁的外侧面上设置有加热罩；真空室筒壁的内侧面上设置有底座；底座上固定有吸气泵模块；吸气泵模块与真空室筒壁内侧面之间设置有导热块；真空室筒壁内侧面、导热块和吸气泵模块相互紧密贴合。

作为本方案的优选：吸气泵模块包括有不锈钢盒体，不锈钢粘结毡和锆钒铁吸气片；锆钒铁吸气片设置在不锈钢盒体内；锆钒铁吸气片外部包裹有不锈钢粘结毡。

作为本方案的优选：加热罩为不锈钢材质。

作为本方案的优选：吸气泵模块通过螺栓固定在底座上。

本方案的有益效果可根据对上述方案的叙述得知，由于在该方案中在真空实内部固定有锆钒铁吸气片，真空室筒壁外侧面安装的不锈钢加热罩提供锆钒铁吸气片激活所需的高温，通过真空室筒壁、无氧铜片将温度传导至锆钒铁吸气片，激活锆钒铁吸气片，利用锆钒铁吸气片激活后可自动吸附气体得特性，吸附真空室内材料所释放出的气体，长时间维持真空室内的高真空度。

由此可见，本发明与现有技术相比，具有突出的实质性特点和显著地进步，其实施的有益效果也是显而易见的。

附图说明

图1为本发明具体实施方式的结构示意图。

图中，1为真空室筒壁，2为加热罩，3为底座，4为导热片，5为吸气泵模块，6为锆钒铁吸气片。

具体实施方式

为能清楚说明本方案的技术特点，下面通过一个具体实施方式，并结合其附图，对本方案进行阐述。

通过附图可以看出，本方案的真空室筒壁外侧面上安装不锈钢加热罩，无氧铜导热块安装于吸气泵模块与真空室筒壁内侧面之间，吸气泵模块与底座通过紧固螺栓连接，通过紧固螺栓的预紧力使真空室内侧面、导热块和吸气泵模块单元紧密贴合。

真空室左端与陶瓷金属化封接绝缘子连接，真空室右端与陶瓷金属化封接天线输出窗连接，组成一个密闭的完整真空室。

本发明的模块化真空维持装置的工作原理是：锆钒铁吸气片是一种高温激活后可自动吸附气体的吸气材料。真空室外侧面安装的不锈钢加热罩提供锆钒铁吸气片激活所需的高温，通过真空室筒壁、无氧导热片将温度传导至锆钒铁吸气片，激活锆钒铁吸气片，利用锆钒铁吸气片激活后可自动吸附气体得特性，吸附真空室内材料所释放出的气体，长时间维持真空室内的高真空度。

本发明的主要特点是将锆钒铁吸气带按其安装的不锈钢盒体内部有效空间进行裁剪，利用600目的不锈钢烧结毡包裹后放入不锈钢盒体内，将不锈钢盒体与上盖进行点焊加固连接。不锈钢盒体上开密集的φ3通孔，增大气体分子打到锆钒铁吸气带的概率。锆钒铁吸气带在冲击振动环境下其基带上压制的粉末合金会产生脱落，利用600目的不锈钢烧结毡将脱落的合金粉末包裹，在不影响真空室静态真空维持性能的条件下保证真空室内的洁净。本发明的模块化真空维持装置通过了GJB150A《军用设备环境试验方法》的环境适应性考核。