[发明专利]一种探针卡识别装置和方法

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种探针卡识别装置和方法。

背景技术

随着半导体制造的发展，器件的尺寸和密度越来越小，可靠性的测试难度和要求也越来越高，晶圆可靠性测试（WAT，Wafer Acceptance Test）是芯片制造过程中的重要测试站点，在封装前进行芯片测试，发现存在于晶圆当中的不良品，进行标记，到后段封装前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本，另一方面，通过对WAT测试数据的分析，可以发现产品的制造工艺中的问题，帮助调整制造工艺。

在代工厂的实际生产过程中，产品种类繁多，针对不同产品使用不同类型的探针卡。目前识别探针卡的方法主要有RFID（Radio Frequency IDentification）识别和识别电阻识别两种方法。但实际生产过程中，由于不同部门使用的识别方式不同，探针卡在各个部门流动使用时需要额外的操作，例如之前在工程部使用识别电阻识别的探针卡要在生产部门中使用RFID识别方法前提下使用，就需要工程师在卡上装上RFID芯片，探针卡归还时又需要拆除RFID芯片，大大降低了效率。

发明内容

本发明提供一种探针卡识别装置和方法，以解决现有的探针卡识别方法导致探针卡在生产流动使用中，操作繁琐效率低的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种探针卡识别装置，包括RFID识别系统和识别电阻识别系统，所述RFID识别系统用于对探针卡进行RFID识别，所述识别电阻识别系统用于对探针卡进行识别电阻的识别；所述探针卡识别装置对探针卡识别过程为：先进行RFID识别，若RFID识别失败，再进行识别电阻识别。

可选的，所述识别电阻识别系统包括识别电阻测量系统和与所述识别电阻测量系连接的数据库；所述识别电阻测量系统用于对识别电阻的量测，所述数据库用于记录不同电阻值对应的探针卡信息。

根据本发明的另一面，本发明提供一种采用上述探针卡识别装置的探针卡识别方法，包括：

先利用RFID识别系统对探针卡进行RFID识别；若RFID识别成功，则识别结束；若RFID识别失败，则利用识别电阻识别系统对探针卡进行识别电阻识别；若识别电阻识别成功，则识别结束；若识别电阻识别失败，则识别过程失败，识别结束。

可选的，所述探针卡包括仅装有RFID芯片或识别电阻的探针卡，以及装有RFID芯片和识别电阻的探针卡。

可选的，所述RFID识别过程为：扫描探针卡，若能获取RFID芯片记录的探针卡信息，则识别成功；若获取探针卡信息失败，则识别失败。

可选的，所述识别电阻识别系统包括识别电阻测量系统和与所述识别电阻测量系连接的数据库；所述识别电阻测量系统用于对识别电阻的量测，所述数据库用于记录不同电阻值对应的探针卡信息。

可选的，所述识别电阻识别过程为：对探针卡上的识别电阻施加识别电压，量测识别电阻的电阻值，然后根据识别电阻的电阻值在数据库中获取对应的探针卡信息；若获取探针卡信息成功，则识别成功，若量测识别电阻的电阻值失败或无法根据电阻值在数据库中获取对应的探针卡信息，则识别失败。

可选的，所述识别电压为2～10V。

与现有技术相比，本发明提供的探针卡识别装置和方法具有以下优点：

所述探针卡识别装置和方法对装有RFID芯片和识别电阻的探针卡均能识别，优先进行RFID芯片识别，在RFID芯片识别失败后进行识别电阻识别，使得探针卡在不同部门间流动使用时不需要额外的改装步骤，从而提高了效率。此外，RFID识别方法更先进、稳定性更高，优先采用RFID识别方式，当RFID识别失败时才继续采用电阻识别，可大大提高RFID芯片和识别电阻都装载了的探针卡识别的准确性。

附图说明

图1为本发明实施例的探针卡识别方法的流程示意图。

具体实施方式

根据背景技术所述，由于实际生产中各部门使用的探针卡识别方法在探针卡流动使用时，需要额外的改装步骤，导致生产操作繁琐效率不高的问题。