[发明专利]钻石线切割机及该钻石线切割机的切割方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种钻石线切割机及使用该钻石线切割机的切割方法。

背景技术

目前，业界一般使用钻石线切割机来切割硅晶圆、蓝宝石晶棒等。具体切割方法为：将待切割物体，如硅晶圆、蓝宝石晶棒等固定于钻石线切割机上；在与待切割面同面的上方设置第一固定端与第二固定端；具有一定长度的钻石线的两端可滑动地固定上述二固定端，并令该钻石线其具有自第一固定端向第二固定端运动的线速度；令具有线速度的钻石线该向待切割物体方向移动，直至前后不同段的钻石线通过该待切割物体，进而完成切割动作。然而，切割一待切割物体需要调动整卷的钻石线作切割动作，对钻石线较为浪费。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种节省钻石线使用的钻石线切割机及其切割方法。

一种钻石线切割机，其包括旋转马达、钻石线固定模块、钻石线及空间位移元件，该旋转马达及钻石线固定模块设置于该空间位移元件上，该旋转马达带动该待切割物体绕待切割物体的中心线旋转，该钻石线固定模块分别沿相反方向拉伸该钻石线的相对两端以使得钻石线绷直以具有张力，该空间位移元件令该钻石线自待切割物体的边缘向中心方向移动，以使得钻石线切割旋转地待切割物体。

一种钻石线切割机的切割方法，该加工方法包括如下步骤:固定待切割物体及钻石线于钻石线切割机上；调整待切割物体与钻石线的相对位置，令钻石线处于切割段的部分设置方向平行于待切割物体的待切割面；令待切割物体绕其中心线旋转并且令待切割物与该钻石线的切割段二者相对移动，令钻石线的切割段切割该切割物体。

与现有技术相比，上述钻石线切割机令待切割物体在旋转时通过钻石线，进而完成切割动作。利用处于切割段的钻石线实施切割，避免了调动整卷的钻石线作切割动作时，对钻石线的浪费。

附图说明

图1为本发明实施方式中钻石线切割机的立体示意图。

图2为图1中钻石线切割机部分分解图。

图3为钻石线切割机切割待切割物体的方法流程图。

主要元件符号说明。

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

请参阅图1，钻石线切割机100包括底座110、自该底座110向同一侧延伸的二侧壁112、连接二侧壁112的顶壁113、直接或者间接设置于该底座110上的空间位移元件130、旋转马达150及钻石线固定模块170。该旋转马达150与该钻石线固定模块170设置于该空间位移元件130上。该空间位移元件130设置于该底座110上。该旋转马达150用于固定待切割物体200，并带动该待切割物体200绕待切割物体200的中心线旋转。在本实施方式中，该旋转马达150是可以调整速度与扭力的马达。该钻石线固定模块170用于固定钻石线300并分别沿相反方向拉伸该钻石线300的相对两端以使得钻石线300绷直令处于切割段的钻石线300具有张力。该空间位移元件130能够于实施切割动作前校准待切割物体200与切割段钻石线300的相对位置，并在实施切割动作时变化该旋转马达150与钻石线固定模块170二者之间的相对位置，令二者或者相互靠近或者相互远离，进而实施切割动作。

在本实施方式中，该待切割物体200为玻璃棒材，其形状为圆柱形并具有中心线。该旋转马达150提供一旋转速度，令玻璃棒材的边缘具有700-1200m/min的线速度。

具体地，该空间位移元件130包括移动台131、第一轨道132、第二轨道133、第三轨道135、第一驱动马达(图未示)、第二驱动马达(图未示)、第三驱动马达138。在本实施方式中，该第一轨道132与第二轨道133是水平方向的沿X方向与Y方向上设置的轨道，第三轨道135是沿竖直方向Z方向设置的轨道。该移动台131设置于该第二轨道133上并能够在该第二驱动马达的带动下沿该第二轨道133移动。该第一驱动马达能够驱动该第二轨道133及位于该第二轨道133上的该移动台131沿该第一轨道132移动。该第三驱动马达138用于驱动该钻石线固定模块170沿该第三轨道135移动。可以理解地，该第三驱动马达138也可以为气压缸。

在本实施方式中，每一第一轨道132、第二轨道133、第三轨道135均具有二轨道，以稳定地引导及限定沿轨道移动的元件。其中，该第三轨道135的二轨道分设于第二轨道133的两侧，以利切割动作的稳固实施。