[发明专利]用于衰减显微镜光束路径中声波的装置和具有其的显微镜

权利要求书

1.一种用于衰减显微镜的光束路径(1)中的声波的装置，具有用于封装声波发射元件的隔声外壳(2)，所述外壳(2)包括至少一个光入开口/出开口，

其中，所述外壳(2)配备和/或构造为使从所述外壳(2)出来的声波通过相消干涉被大大消除而不影响光束(4)，

其中，所述开口由从所述外壳(2)延伸出的管(6)构成，

其中，所述管(6)装备有从所述管(6)在横向上突出的至少一个管分支(7)，

其中，所述管分支(7)在末端封闭，或者所述管分支(7)被配备作为从所述管(6)开始且开口回至所述管(6)中的旁路(11)，所述旁路(11)具有适配的声波波长。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述声波发射元件为快速移动或振荡光束偏转仪器。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述声波发射单元为共振振荡镜(3)。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述外壳(2)的开口配备和/或构造为使从所述外壳(2)出来的声波通过相消干涉被大大消除而不影响光束(4)。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，设置光入开口和光出开口设置为独立的开口；以及光入开口和光出开口根据相同的原理相对于声发射衰减。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述管(6)装备有从所述管(6)在横向上突出的两个或更多个管分支(7)。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述管分支(7)在末端通过声反射壁(8)封闭。

8.根据权利要求6所述的装置，其中，所述管分支(7)被不同地配备，以同时衰减不同的声波频率。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述管分支(7)具有不同的深度。

10.根据权利要求1所述的装置，其中，所述管分支(7)被构成为使得在所述管分支(7)中传播的以及在那里被反射的声波相对于在所述管(6)中沿纵向传播的波发生180°的相变，从而导致与沿纵向传播的波的相消干涉。

11.根据权利要求1所述的装置，其中，所述管分支(7)的调谐通过适配所述管分支(7)的宽度/直径和/或长度实现。

12.根据权利要求11所述的装置，其中，设置改变所述管分支(7)的深度的声反射壁(8)以改变所述管分支(7)的长度。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述声反射壁(8)由可螺旋进入所述管分支(7)的所述末端的调节螺钉(10)，或者通过可插入式的调节销、调节杆或调节活塞承载或构成。

14.根据权利要求13所述的装置，其中，所述管分支(7)中的干涉条件的调节以及因此的调谐通过机动化方式或液压地或气动地实现。

15.根据权利要求1所述的装置，其中，所述管分支(7)的调谐通过选择具有限定的吸声性能的合适的材料实现。

16.根据权利要求1所述的装置，其中，所述旁路(11)具有比所述管(6)长半个声波波长的声波路径长度。

17.根据权利要求1所述的装置，其中，在所述外壳(2)内部和/或所述管(6)内部设置吸声器(12)。

18.根据权利要求17所述的装置，其中，所述吸声器(12)配备作为各个内壁表面的至少部分的衬垫。

19.一种显微镜，具有根据权利要求1-18中任一项所述的装置。

20.根据权利要求19所述的显微镜，其中，所述显微镜为扫描显微镜。