[发明专利]新型高密度阴极等离子体源有效
| 申请号： | 201310173444.0 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103298233A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李波;吴杰峰;罗广南;王海京;韦俊;宋春 | 申请（专利权）人： | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市蜀山湖路3*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 高密度 阴极 等离子体 | ||
1.一种新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：包括有屏蔽罩，屏蔽罩中设有屏蔽筒，屏蔽筒中设有LaB6阴极、加热元件，屏蔽罩的后端设有安装基座，安装基座为水冷热沉结构，安装基座通过数个支撑杆固定在安装法兰的内壁上，安装法兰安装进气连接件作为进气口，安装法兰自外向内贯穿一个电连接件，电连接件的周围与安装法兰之间超高真空密封，电连接件的一端与加热元件连接，安装法兰外还设有一水冷电极，水冷电极通过安装法兰内的水冷接头与加热元件连接。
2.根据权利要求1所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：所述的安装法兰安装在真空室的真空法兰上，所述的屏蔽筒、LaB6阴极、加热元件、支撑杆均位于真空室内。
3.根据权利要求1所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：所述的电连接件与安装法兰之间绝缘。
4.根据权利要求1所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：所述的加热元件采用加热丝。
5.根据权利要求1所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：所述的屏蔽筒包括有直径依次减小的屏蔽筒一、屏蔽筒二、屏蔽筒三，各屏蔽筒的一端抵在屏蔽罩的侧壁上并采用氩弧焊连接，各屏蔽筒的另一端分别设有屏蔽片一、屏蔽片二、屏蔽片三。
6.根据权利要求1所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：还包括有屏蔽支撑，所述的屏蔽支撑包括24个相同大小的小型钨棒，分别使用氩弧焊技术焊接在屏蔽筒一和屏蔽罩之间。
7.根据权利要求1所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：所述的LaB6阴极固定在阴极保持架上，所述的阴极保持架包括两个半爿结构的凹槽圆片，阴极保持架采用极耐高温材料加工而成，阴极保持架的内部与LaB6阴极仅点接触。
8.根据权利要求1或5或7所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：所述的屏蔽罩与阴极保持架之间设有石墨纸，石墨纸为特殊石墨材料的纸状薄片。
9.根据权利要求1所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：所述的进气连接件为真空元器件，进气连接件与安装法兰保持超高真空密封连接，留有标准真空器件端口与外置进气机构连接。
10.根据权利要求1所述的新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：所述的水冷电极可容许大电流通过，而且始终保持与安装法兰的绝缘和超高真空密封。
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