[发明专利]水冷杆及使用该水冷杆的晶体生长炉在审
| 申请号： | 201310131908.1 | 申请日： | 2013-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN104109901A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 潘兴彦;张红武;韩永飞;于立伟 | 申请（专利权）人： | 北京滨松光子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100070 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水冷 使用 晶体生长 | ||
1.一种水冷杆，其特征在于：所述水冷杆包括上水冷段和下水冷段，所述上水冷段和所述下水冷段均设有进水口和出水口。
2.如权利要求1所述的水冷杆，其特征在于：所述水冷杆还包括上段进水管和上段出水管，所述上段进水管穿过所述下水冷段的进水口和所述上水冷段的进水口，所述上段出水管穿过所述上水冷段的出水口和所述下水冷段的出水口。
3.一种晶体生长炉，包括水冷杆，其特征在于：所述水冷杆为如权利要求1-2任一项所述的水冷杆。
4.一种封闭式晶体生长炉，包括炉体、炉座和水冷杆，其特征在于：所述水冷杆为如权利要求1-3任一项所述的水冷杆，所述生长炉还包括密封系统，所述密封系统包括钟罩和密封圈，所述钟罩设在所述炉体的外侧并扣在所述炉座上，所述钟罩与所述炉座的衔接处以及所述水冷杆与所述炉座的衔接处有所述密封圈。
5.如权利要求4所述的封闭式晶体生长炉，其特征在于：所述密封圈的下端设有导热板，所述导热板用于降低所述密封圈的温度。
6.如权利要求5所述的封闭式晶体生长炉，其特征在于：所述导热板通有冷却水。
7.如权利要求5所述的封闭式晶体生长炉，其特征在于：所述导热板为导热性好的材料。
8.如权利要求4所述的封闭式晶体生长炉，其特征在于：所述密封圈与所述水冷杆的间隙处填充有密封材料。
9.如权利要求4所述的封闭式晶体生长炉，其特征在于：所述炉体外侧包裹有保温层。
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