[发明专利]一种AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀及其制备方法

权利要求书

1.一种AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀，其特征在于：所述铣刀表面有从内到外由结合层、过渡层、耐磨层依次构成的复合涂层，且：

1）结合层为Mo层；

2）过渡层为MoN层；

3）耐磨层为AlTiN/MoN层。

2.如权利要求1所述的AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀，其特征在于：所述复合

层的厚度为0.62-5微米，其中：

1）结合层厚度为20-200纳米；

2）过渡层厚度为100-300纳米；

3）耐磨层厚度为0.5-4.5微米。

3.如权利要求1所述的超硬自润滑AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀，其特征在于：所述铣刀的基体为硬质合金、不锈钢、高速钢、碳钢或模具钢。

4.如权利要求1-3任一所述的AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀，其特征在于：所述耐磨层为AlTiN层和MoN层交替构成的AlTiN/MoN多层涂层；其AlTiN层单层的厚度为3-5纳米，MoN层单层的厚度为2-5纳米。

5.一种如权利要求1所述的AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀的制备方法，其特征在于由下述步骤依次形成：

1）对铣刀进行辉光清洗后,在其表面沉积结合层，该结合层为Mo层；

2）在上步得到的结合层上沉积过渡层，该过渡层为MoN层；

3）在上步得到的过渡层上沉积耐磨层，该耐磨层为AlTiN/MoN层；自然冷却，即得。

6.如权利要求5所述的AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀的制备方法，其特征在于：所述耐磨层为AlTiN层和MoN层交替构成的AlTiN/MoN多层涂层。

7.如权利要求5-6任一所述的AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀的制备方法，其特征在于：

1）所述的辉光清洗的条件为：温度为250－400℃，转速为2rpm到5rpm，氩气环境下；

2）所述结合层的沉积条件为：气压0.01-0.1Pa，偏压－800V到－1000V；

3）所述过渡层的沉积条件为：氮气环境下，气压0.1-1Pa，偏压－100V到－250V；

4）所述耐磨层的沉积条件为：氮气环境下，气压0. 5-5Pa，偏压－100V到－250V。