[发明专利]一种光波导的热压印装置

权利要求书

1.一种光波导的热压印装置，包括底座、底部开口的热压印腔体和设置在底座上的样品台，其特征在于：所述的热压印腔体的顶部设有盖板，所述的热压印腔体固设在所述的样品台的上方，所述的热压印腔体内设有工作腔，所述的工作腔内设置有能够耐高温的膜层，所述的膜层将所述的工作腔分隔成压力腔和真空腔，所述的压力腔位于所述的真空腔的上方，所述的压力腔通过气体管道与气动增压装置相连，所述的样品台的台面上放置有模具，所述的模具位于所述的真空腔内，所述的样品台的下方设置有带有温控系统的加热装置，所述的样品台与所述的加热装置之间具有间隙，所述的样品台内设置有热缓冲腔，所述的真空腔与所述的热缓冲腔相连通，所述的热缓冲腔的一侧与冷却装置相连，所述的热缓冲腔的另一侧与抽真空装置相连。

2.根据权利要求1所述的一种光波导的热压印装置，其特征在于：所述的冷却装置包括冷却瓶和灌装有氮气的氮气瓶，所述的冷却瓶内灌装有液氮，所述的冷却瓶内设置有铜管，所述的铜管与所述的热缓冲腔相连通；热压印后，打开冷却装置，氮气进入冷却瓶并被冷却瓶内的液氮迅速冷却，冷却后的氮气通过铜管进入热缓冲腔和真空腔，对样品台及放置在其台面上的光波导和模具进行快速冷却。

3.根据权利要求1或2所述的一种光波导的热压印装置，其特征在于：所述的加热装置为电阻丝加热装置。

4.根据权利要求1或2所述的一种光波导的热压印装置，其特征在于：所述的样品台上均匀开有多个通孔，所述的真空腔与所述的热缓冲腔通过所述的多个通孔相连通。