[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。

背景技术

例如，在便携电话或便携信息终端中，大多使用如专利文献1所示的将石英（水晶）等用作时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等的压电振动器。

作为这种压电振动器，存在将音叉型的压电振动片气密封闭于形成有腔的封装件内的压电振动器。封装件成为如下的构造：以在一对玻璃基板中的一个形成凹部的状态互相叠合，将两者直接接合，由此，使凹部作为腔而起作用。另外，压电振动片具备互相平行配置的一对振动臂部和将这两个振动臂部的长度方向上的基端侧成一体地固定的基部。而且，压电振动片基部固定于一个玻璃基板的表面，两个振动臂部以基端侧作为起点而沿接近、离开的方向以既定的谐振频率振动。

而且，在前述玻璃基板，设有贯通其一面侧和另一面侧的贯通电极。而且，压电振动片的基部和贯通电极，在玻璃基板的表面上，由沿着振动臂部的纵向方向延伸的迂回电极电连接。此外，作为压电振动器的封装件，除了在此说明的玻璃封装件以外，还已知陶瓷封装件等。

专利文献1：日本特开2010－119127号公报。

一直以来，已知在压电振动片的前端形成有频率调整用的重锤金属膜。通常，在压电振动器的制造工序中，设有如下的频率调整工序：确认压电振动器的频率是否收至器件的标称频率的范围内，在未收至标称频率的范围内的情况下，调整频率。在该频率调整工序中，通过激光照射而使上述的重锤金属膜的一部分蒸发，由此，能够使压电振动器的频率上升。

然而，已得知近年来，伴随着压电振动器的小型化，与振动臂部平行的迂回电极与振动臂部的间隔容易变窄，在这种情况下，在激光照射时，飞散的重锤金属附着于迂回电极。如果飞散的重锤金属附着于迂回电极，则存在迂回电极短路或电特性下降的可能性。而且，如果压电振动片的安装位置的位置精度低，则有将激光直接照射至迂回电极之虞。

即，在现有技术中，由于飞散的重锤金属附着于迂回电极或将激光直接照射至迂回电极，因而存在每次进行频率调整工序，迂回电极的电特性都下降的可能性。另外，针对本申请的发明者们新发现的该课题，至此都未公开任何有效的方案。

发明内容

于是，本发明的目的在于，提供如下的压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表：在能够通过在形成于振动臂部的前端的重锤金属膜进行激光照射而进行频率调整的压电振动器中，能够防止在频率调整时迂回电极的电特性下降。

为了达成上述目的，本发明具备：封装件，通过将多个基板沿厚度方向接合而形成；压电振动片，容纳于在所述封装件内形成的腔，具有以既定的频率振动的振动臂部；频率调整用的重锤金属膜，形成于所述振动臂部的前端侧；贯通电极，将形成于所述封装件的外表面的外部电极与所述腔内电连接；以及迂回电极，形成于所述腔的内表面，将所述贯通电极与所述压电振动片电连接，至少一个迂回电极在所述腔的内壁附近与所述振动臂部的纵向方向大致平行地延伸设置，其特征在于，以相对于所述腔的沿所述纵向方向延伸的中心线，所述压电振动片的中心线位于与所述振动臂部的纵向方向大致平行地延伸设置的所述迂回电极相反的一侧的方式，将所述压电振动片安装于所述腔内。

这样，以压电振动片的中心线相对于腔的沿振动臂部的纵向方向延伸的中心线而位于与振动臂部的纵向方向大致平行地延伸设置的引出电极的相反侧的方式,将压电振动片安装于腔内,由此,能够扩大振动臂部与迂回电极的间隔。因而，能够大幅地降低在激光照射时飞散的重锤金属附着于迂回电极或将激光直接照射至迂回电极的可能性。因而，能够提供能够防止在频率调整时迂回电极的电特性下降的压电振动器。此外，多数情况下至少一个迂回电极在腔的内壁附近与振动臂部的纵向方向大致平行地延伸设置。如果对这点进行说明，则首先，如果考虑将压电振动器安装于电路基板时的各条件（与电路的连接位置、空间等），则外部电极不得不设在封装件外表面的端部附近，不同的极性对应的一组外部电极在互相最大地离开的位置形成于封装件的外表面的端部附近。于是，与各个外部电极相对应的贯通电极也在腔内设在离开的位置。结果，如果想要将贯通电极与压电振动片电连接，则至少一个迂回电极有必要从贯通电极较长地迂回至压电振动片。而且，有必要尽量在与振动臂部分离的区域迂回，从而不受激光照射。所以，通常的迂回电极有时候不得不形成于腔的内壁附近。