[发明专利]差压传感器

权利要求书

1.一种差压传感器，其特征在于，具有：

传感器芯片，该传感器芯片具有对与压力差相应的信号进行输出的传感器隔膜；第1挡块构件，使其凹部与该传感器隔膜的一个面相对地接合，阻止对该传感器隔膜的另一个面施加过大压力时的过度位移；和第2挡块构件，使其凹部与所述传感器隔膜的另一个面相对地接合，阻止对该传感器隔膜的一个面施加过大压力时的过度位移，

第1管路构件，该第1管路构件与所述传感器芯片的一个面接合，在所述第1管路构件的内部具有导压路径，该导压路径向所述传感器隔膜的一个面引导测量压力，

第2管路构件，该第2管路构件与所述传感器芯片的另一个面接合，在所述第2管路构件的内部具有导压路径，该导压路径向所述传感器隔膜的另一个面引导测量压力，和

弹性保持构件，其对所述第1管路构件施加朝向所述传感器芯片的一个面的弹性力，对所述第2管路构件施加朝向所述传感器芯片的另一个面的弹性力，使所述传感器芯片夹持在所述第1管路构件和所述第2管路构件之间。

2.如权利要求1所述的差压传感器，其特征在于，所述弹性保持构件由与所述第1管路构件的导压路径连通的具有可挠性的第1连通管和与所述第2管路构件的导压路径连通的具有可挠性的第2连通管构成。

3.如权利要求1所述的差压传感器，其特征在于，所述弹性保持构件被设为从外侧夹住所述第1管路构件和所述第2管路构件的板簧。

4.如权利要求1～3中的任意一项所述的差压传感器，其特征在于，所述传感器芯片具有与所述第1挡块构件接合的第1底座和与所述第2挡块构件接合的第2底座。