[发明专利]铁电薄膜的制造方法和静电喷涂用液有效
| 申请号： | 201310068790.2 | 申请日： | 2013-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103360064A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 饭田慎太郎;樱井英章 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/491 | 分类号： | C04B35/491;C04B35/493;C04B35/624 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 制造 方法 静电 喷涂 | ||
【权利要求书】：
1.一种铁电薄膜的制造方法，从毛细管的吐出口朝向具有下部电极的基板的所述下部电极静电喷涂铁电薄膜形成用的静电喷涂用液而将所述静电喷涂用液涂布到所述下部电极上来形成涂膜，对所述涂膜进行干燥、临时烧结之后进行烧成来使其结晶化，从而在所述下部电极上制造铁电薄膜，其特征在于，
所述静电喷涂用液为均匀混合铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液和具有与所述溶胶-凝胶液的固体物相同组成且具有能从所述吐出口吐出的粒径的粉末的混合液，其中，
将溶解于所述溶胶-凝胶液中的金属化合物换算成金属氧化物的质量设为A，将所述粉末的质量设为B时，B相对于A+B的比率在5%以上40%以下的范围。
2.一种静电喷涂用液，其用于从毛细管的吐出口静电喷涂来形成铁电薄膜，其特征在于，
均匀混合铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液和与所述溶胶-凝胶液的固体物相同组成且具有能从所述吐出口吐出的粒径的粉末，将溶解于所述溶胶-凝胶液中的金属化合物换算成金属氧化物的质量设为A，将所述粉末的质量设为B时，B相对于A+B的比率在5%以上40%以下的范围。
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