[发明专利]振荡电路

说明书

本申请是申请号为201210115203.6，申请日为2012年04月18日，发明名称为“振荡电路”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及振荡电路。

背景技术

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems：微电子机械系统）是微细构造体形成技术的一种，例如，指制造微米级的微细的电子机械系统的技术及其产品。人们正在开发利用MEMS技术制作的振动元件（MEMS振子）。另外，也正在开发使用MEMS振子的振荡电路。专利文献1中公开了一种使用了MEMS振子的振荡器。

专利文献1：日本特开2009－200888号公报

与晶体振子、陶瓷振子相比，MEMS振子在功率大的信号作为输入信号被输入的情况下，通过特性容易失真。若通过特性失真，则容易引起频率漂移（频率不稳定）的现象。

发明内容

本发明的一些方式的目的之一在于提供一种抑制了输出信号的频率漂移的振荡电路。

本发明的振荡电路包括：

MEMS振子，其具有隔开空隙配置的第1电极以及第2电极；

放大部，其包括增益部和增益限制部，该增益部具有第1输入端子以及第1输出端子，且增益比1大，该增益限制部具有第2输入端子以及第2输出端子，且增益比1小；和

输出端子，其与上述第1输出端子连接，

上述第1电极与上述第1输入端子连接，

上述第1输出端子与上述第2输入端子连接，

上述第2输出端子与上述第2电极连接。

所谓“连接”是指，电连接，不仅指直流式连接的情况，也包括交流式连接的情况。

根据本发明，向MEMS振子输入的信号是增益比1小的增益限制部的输出信号，因此通过特性不易失真。从而，能够实现抑制了输出信号的频率漂移的振荡电路。

另外，根据本发明，增益比1大的增益部的输出信号为振荡电路的输出信号，因此能够输出振幅大的信号。

在本发明所涉及的振荡电路中，包括：

电压施加部，其向上述第1电极与上述第2电极之间施加偏压；和

控制部，其对上述增益限制部以及上述电压施加部进行控制,

上述控制部能够将上述增益限制部中增益、与上述电压施加部施加的上述偏压建立关联地控制。

MEMS振子的通过特性的失真程度根据偏压的大小发生变化。根据本发明，控制部通过将增益限制部中的增益、与电压施加部施加的偏压建立关联地控制，从而能够实现进一步抑制了输出信号的频率漂移的振荡电路。

在本发明所涉及的振荡电路中，上述控制部能够按照上述电压施加部施加的上述偏压越大，上述增益限制部中的增益越小的方式进行控制。

MEMS振子具有偏压越大通过特性越容易失真的倾向。根据本发明，控制部通过按照电压施加部施加的偏压越大，增益限制部中的增益越小的方式进行控制，从而能够实现进一步抑制了输出信号的频率的漂移的振荡电路。

附图说明

图1是表示第1实施方式的振荡电路1的电路图。

图2是表示放大部20的一个例子的电路图。

图3是表示MEMS振子10的通过特性的示意图。

图4是表示第2实施方式的振荡电路2的电路图。

图5是表示电压施加部40的一个例子的电路图。

图6是表示增益限制部24的一个例子的电路图。

图7是表示MEMS振子10的通过特性的示意图。

图8是示意性地表示MEMS振子10的构成例的俯视图。

图9是示意性地表示MEMS振子10的构成例的剖视图。

符号说明