[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，所述激光加工装置对被加工物照射激光束来进行加工，

所述激光加工装置具备：

工作台，其用于载置被加工物；

激光输出部，其输出激光束；

激光束偏转构件，其使来自所述激光输出部的激光束偏转；

像旋转器，其用于使偏转后的激光束绕方向与偏转后的激光束不同的旋转轴线旋转；以及

聚光构件，其用于使激光束在所述被加工物上聚光。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，

所述激光加工装置还具备分支构件，所述分支构件配置于所述激光输出部与所述像旋转器之间，用于使偏转后的激光束分支。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，

所述分支构件以使得由所述聚光构件聚光的激光束位于一个圆周上的方式对激光束进行分支。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的激光加工装置，

所述激光加工装置还具备激光束扫描部，所述激光束扫描部用于使由所述聚光构件聚光后的激光束在沿所述被加工物的表面的平面内在任意的方向进行扫描。

5.根据权利要求2所述的激光加工装置，

所述分支构件具有光束分离器。

6.根据权利要求2所述的激光加工装置，

所述分支构件具有光纤分路器。