[发明专利]一种光瞳面光强分布的测量方法

权利要求书

1.一种光瞳面光强分布的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括如下步骤：

步骤一：设置需要探测的照明模式，激光器打光，照明光经过掩模和透镜，离焦后照射到面阵传感器表面；

步骤二：移动面阵传感器以确保照明光斑落于面阵传感器中心；

步骤三：调整掩模位置，使得照明光照射到掩模铬区；

步骤四：面阵传感器采集照明背景光；

步骤五：调整掩模位置，使得照明光照射到掩模的小孔标记上；

步骤六：面阵传感器采集照明光，获得反映光瞳面光强分布的图像；

步骤七：在两次采集的间隔内，消除照明背景光产生的误差并对采集结果进行迭代计算，根据计算结果重新返回步骤六，直到计算结果与理想光瞳的偏差满足要求，获得反映光瞳面光强分布的图像；

步骤八：根据计算结果计算光瞳参数。

2. 如权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述迭代计算为卡尔曼滤波算法，在迭代计算过程中，该算法不断对下一次采集结果进行预测，并实时对采集结果进行更新，从而实现快速收敛。