[发明专利]改善沥滤的刀具的性能的方法

权利要求书

1.一种用于清洗多晶结构的方法，所述方法包括：

获得经沥滤组件，所述经沥滤组件包括多晶结构，所述多晶结构包括至少一个经沥滤层，所述经沥滤层包括沉积在其中的一种或多种副产品材料，所述副产品材料是在从所述经沥滤层去除至少一部分催化剂材料的沥滤工艺中形成的；

从所述经沥滤层去除至少一部分副产品材料，由此形成经清洗沥滤的组件；

在形成所述经清洗沥滤的组件之后，测量所述经清洗沥滤的组件的电容值；并且

重复去除步骤和测量步骤，直到所述电容值减小到稳定的下限为止。

2.如权利要求1所述的方法，其中：

获得多个经沥滤组件，

在所述去除步骤中包含所述经沥滤组件，并且

在所述测量步骤中测量每个经沥滤组件的电容值。

3.如权利要求1所述的方法，其中，去除至少一部分副产品材料包括：

将至少一部分经沥滤的层插入清洗液；以及

使至少一部分副产品材料溶解在所述清洗液中。

4.如权利要求3所述的方法，其中，去除至少一部分副产品材料还包括加热所述清洗液。

5.如权利要求3所述的方法，还包括将换能器声学地耦合至所述组件，其中所述换能器发出振动进入所述组件。

6.如权利要求5所述的方法，其中，所述换能器被浸没到所述清洗液中。

7.如权利要求3所述的方法，其中，所述组件包括刀具，所述刀具包括衬底和切割台，所述衬底具有顶表面和底表面，所述切割台被耦合至所述衬底的顶表面，其中所述切割台包括所述多晶结构。

8.如权利要求7所述的方法，还包括在所述刀具的至少一部分外周表面周围设置覆盖件，所述外周表面部分从至少所述顶表面朝向所述底表面延伸，并且其中所述覆盖件的一部分被浸没到所述清洗液中。

9.如权利要求3所述的方法，其中，所述清洗液包括去离子水。

10.如权利要求3所述的方法，进一步包括：

获得罐，在所述罐中形成容腔；以及

将所述清洗液置于所述容腔的至少一部分内。

11.如权利要求3所述的方法，其中，测量所述电容值包括：

从所述清洗液去除所述经清洗沥滤的组件；

将所述经清洗沥滤的组件置于手压扳机中；以及

操作所述手压扳机以将导电组件与所述经清洗沥滤的组件的表面牢固地接合以与电容测量装置形成电路。