[发明专利]压电振动元件及压电装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种包含台面(mesa)型的压电片的压电振动元件及压电装置，所述压电振动元件不易发生由掉落等的冲击及温度变化而引起的频率变动、且振动特性得到改良。

背景技术

形成着激振电极(excitation electrode)、且通过对激振电极施加电压而以规定的振动频率振动的压电片，以及包含此种压电片的压电振动元件，是众所周知的。而且，通过将此种压电振动元件载置于封装(package)中而形成压电装置。众所周知，在压电片的主面形成着厚度比压电片的周边部厚的台面部，由此晶体阻抗(crystal impedance，CI)值变佳。而且，众所周知，在包含形成着此种台面部的台面型的压电片的压电振动元件及压电装置中，振动特性会根据台面部及电极的形成位置及大小等而发生变化。

例如专利文献1中公开了如下的台面型振动片，其通过使激振电极形成得比台面部大，而提高频率可变灵敏度(frequency variable sensitivity)，从而抑制了不需要的振动。而且所述专利文献1中公开了如下内容：通过使台面部远离导电性粘接剂而形成，可防止导电性粘接剂与激振电极之间的电短路(electric short)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开2005-94410号公报

然而，在压电振动元件及压电装置中，进而存在着如下的情况，即，相对于因掉落等的冲击及温度变化等而在压电片中产生的应力，会发生频率变动，从而寻求针对此问题的对应措施。而且，寻求关于振动特性的进一步的改善。

发明内容

本发明的目的在于：提供一种压电振动元件及压电装置，不易发生由掉落等的冲击及温度变化而引起的频率变动、且振动特性得到改良。

第一形态的压电振动元件包括：压电片，形成为包含长边及短边的矩形形状，所述压电片具有第一主面及所述第一主面的背面的第二主面，且至少在第一主面具有比周边部厚的一台面部；一对激振电极，形成在第一主面及第二主面；以及一对引出电极，从一对激振电极向一方的短边引出。激振电极以比台面部的面积大、且在形成着台面部的主面以覆盖台面部的方式而形成。激振电极的中心从压电片的中心向另一方的短边侧相隔第一距离。而且，台面部的中心从压电片的中心向另一方的短边侧相隔第二距离。进而，第二距离与第一距离不同。

第二形态的压电振动元件如第一形态，第二距离为长边的长度的0.073倍～0.148倍。

第三形态的压电振动元件如第一形态及第二形态，还包括框部，所述框部包围压电片且连接于压电片的一方的短边，一对引出电极从一方的短边进而向框部引出。

第四形态的压电振动装置包括：第一形态至第三形态的压电振动元件，载置着压电振动元件的底板，以及将压电片密封的盖板。

发明的效果

根据本发明的压电振动元件及压电装置，不易发生由掉落等的冲击及温度变化而引起的频率变动，且可改善振动特性。

附图说明

图1是压电装置100的分解立体图。

图2是图1的I-I剖面图。

图3是压电振动元件130的平面图。

图4A是压电振动元件130a的平面图。图4B是表示压电装置掉落时的应力分布的模拟结果的压电振动元件130a的平面图。图4C是表示压电装置的温度变化时的应力分布的模拟结果的压电振动元件130a的平面图。

图5是表示压电振动元件的等价电路的图。

图6A是压电振动元件130b的平面图。图6B是压电振动元件130c的平面图。

图7A是表示台面部的X轴方向的长度MX与等价串联电容C1的关系的曲线图。图7B是表示台面部的X轴方向的长度MX与等价串联电阻R1的关系的曲线图。

图8是表示压电振动元件的激振电极的尺寸及台面部的尺寸的表。

图9A是表示第二距离DM与等价串联电容C1的关系的曲线图。图9B是表示第二距离DM与等价串联电阻R1的关系的曲线图。

图10是压电装置200的分解立体图。

图11是图10的II-II剖面图。

图12是压电振动元件230的平面图。

图13A是压电振动元件230a的平面图。图13B是表示压电装置掉落时的应力分布的模拟结果的压电振动元件230a的平面图。图13C是表示压电装置的温度变化时的应力分布的模拟结果的压电振动元件230a的平面图。

附图标记：

100、200：压电装置

101、201：模腔