[发明专利]液滴喷头、图像形成装置及成膜装置

说明书

本申请是申请日为2007年3月15日、申请号为200710086382.4、发明名称为“液滴喷头、图像形成装置及成膜装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及液滴喷头、图像形成装置及成膜装置。

背景技术

随着喷墨技术的工业应用化的进展，例如为了形成更微细的布线等，要求能喷出更微小的液滴的液滴喷头。为了实现所喷出的液滴的微小化，需要使用执行机构，该执行机构可以用高频信号驱动，且可以确保所需要的位移量(例如参照专利文献1)。为了实现该愿望，利用例如压电元件的d33方向的位移是有效的。

在专利文献1中，通过在单个电极与固定板的接合侧部分设置切口部分而防止固定板侧的短路，但在使用具有导电性的振动板时，在振动板侧会产生短路。再有，若在压电元件的一部分设置切口部分，则有发挥电致伸缩作用时的形状不均的可能性。

【专利文献1】特开2003-92437号公报

发明内容

本发明的目的在于，使本发明涉及的液滴喷头、图像形成装置及成膜装置可以提高压电元件形状的均匀性，并可以提高液体材料的喷出精度。

本发明涉及的液滴喷头具有：振动板；固定板；和压电元件，上述压电元件包括：第一电极；第二电极；被上述第一电极与上述第二电极夹持的压电体层；在上述第一电极与上述第二电极之间从上述第一电极开始延伸的第一内部电极；和在上述第一电极与上述第二电极之间从上述第二电极开始延伸的第二内部电极，上述压电元件的第一端面的至少一部分与上述振动板相接，上述第一端面包括上述第一电极的第一端部、上述第二电极的第一端部与上述压电体层的第一端部，上述压电元件的第二端面的至少一部分与上述固定板相接，上述第二端面包括上述第一电极的第二端部与上述压电体层的第二端部，上述压电体层的第一端部的至少一部分介于上述振动板与上述第二电极的第一端部之间，上述压电体层的第二端部的至少一部分介于上述固定板与上述第二电极的第二端部之间，上述压电体层具有：与上述第一内部电极和上述第二内部电极重合的活性层；仅与上述第一内部电极重合的第一非活性层；仅与上述第二内部电极重合的第二非活性层，上述第二非活性层的上述第二电极与上述活性层之间的厚度，比上述第一非活性层的上述第一电极与上述活性层之间的厚度大。由此，可以提高压电元件伸缩时的形状的均等性，伴随于此可以提高液体材料的喷出精度。

再有，本发明涉及的液滴喷头可以是具有：振动板；固定板；和压电元件，上述压电元件包括：第一电极；第二电极；和被上述第一电极与上述第二电极夹持的压电体层，上述压电元件的第一端面的至少一部分与上述振动板相接，上述第一端面包括上述第二电极的第一端部与上述压电体层的第一端部，上述压电元件的第二端面的至少一部分与上述固定板相接，上述第二端面包括上述第二电极的第二端部与上述压电体层的第二端部，上述振动板与上述第二电极的第一端部相接，上述压电体层的第二端部的至少一部分介于上述固定板与上述第二电极的第二端部之间。由此，可以提高压电元件伸缩时的形状的均等性，伴随于此可以提高液体材料的喷出精度。

还有，本发明涉及的液滴喷头可以是具有：振动板；固定板；和压电元件，上述压电元件包括：第一电极；第二电极；和被上述第一电极与上述第二电极夹持的压电体层，上述压电元件的第一端面的至少一部分与上述振动板相接，上述第一端面包括上述第一电极的第一端部与上述压电体层的第一端部，上述压电元件的第二端面的至少一部分与上述固定板相接，上述第二端面包括上述压电体层的第二端部，上述压电体层的第一端部的至少一部分介于上述振动板与上述第一电极的第一端部之间。由此，可以提高压电元件伸缩时的形状的均等性，伴随于此可以提高液体材料的喷出精度。

进而，本发明涉及的液滴喷头可以是具有：振动板；固定板；和压电元件，上述压电元件包括：第一电极；第二电极；和被上述第一电极与上述第二电极夹持的压电体层，上述压电元件的第一端面的至少一部分与上述振动板相接，上述第一端面包括上述第二电极的第一端部与上述压电体层的第一端部，上述压电元件的第二端面的至少一部分与上述固定板相接，上述第二端面包括上述压电体层的第二端部，上述压电体层的第一端部的至少一部分介于上述振动板与上述第二电极的第一端部之间。由此，可以提高压电元件伸缩时的形状的均等性，伴随于此可以提高液体材料的喷出精度。

上述液滴喷头优选上述压电元件的第一端面包括上述第一电极的第一端部，上述压电体层的第一端部的至少一部分介于上述振动板与上述第一电极的第一端部之间。由此，可以提高压电元件的配置自由度，例如还能微细地对喷头进行设置。