[发明专利]一种测定双氧水稳定性的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种测定双氧水性能的方法，尤其是涉及一种测定双氧水稳定性的方法。

背景技术

超净高纯电子化产品是超大规模集成电路制造的关键集成性原材料，其纯度、洁净度对成品率、电性能、可靠性等都有十分重要的影响，现今的各个国家都对电子化学品的质量标准进行了严格的规定，对产品的洁净度、尘埃颗粒含量等也做了严格的规定。超净高纯双氧水是半导体用电子化学品之一，主要应用于硅片的氧化、清洗等工艺，而且超净高纯双氧水除了做电子化学品用在超大规模集成电路领域外，还可以用于医学消毒、食品等行业。现在通常采用双氧水分解前后的浓度变化测试双氧水的稳定性，但是当浓度变化不大时不能很好地反映双氧水的稳定度。因此对于双氧水的性能进行精确测试是十分重要的。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种精度更高的测定双氧水稳定性的方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种测定双氧水稳定性的方法，包括以下步骤：

(1)检测双氧水溶液的体积；

(2)将双氧水溶液置于反应容器中，并将反应容器密封，顶部经引气管与集气瓶连接；

(3)向反应容器中加入二氧化锰开始反应，直至集气瓶中收集气体结束；

(4)检测收集到的气体的体积，换算得到双氧水的含量。

每1体积双氧水完全分解能释放200体积的气体。

所述的集气瓶采用排水集气法收集反应生成的气体。

所述的气体为氧气。

与现有技术相比，本发明根据体积变化来检测双氧水溶液中过氧化氢的含量，由于1体积双氧水完全分解能释放200体积的气体，所以通过测试体积变化比通过测试浓度变化精度高。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。

实施例

一种测定双氧水稳定性的方法，包括以下步骤：

(1)检测双氧水溶液的体积；

(2)将双氧水溶液置于反应容器中，并将反应容器密封，顶部经引气管与集气瓶连接；

(3)向反应容器中加入二氧化锰开始反应，直至集气瓶中收集气体结束，集气瓶采用排水集气法收集反应生成的氧气；

(4)检测收集到的氧气的体积，由于每1体积双氧水完全分解能释放200体积的气体，因此通过换算得到双氧水的含量。

本发明根据体积变化来检测双氧水溶液中过氧化氢的含量，由于1体积双氧水完全分解能释放200体积的气体，所以通过测试体积变化比通过测试浓度变化精度高。