[发明专利]一种悬挂式检测台

说明书

技术领域

本发明涉及一种研磨状态检测台，尤其是涉及一种便于采集化学机械研磨（CMP）之后亚表面形态和生物样本生理特征等实验过程的视频、图像处理的悬挂式检测台。

背景技术

在对光学元器件做化学机械研磨（CMP）进行质量控制时，腐蚀时间难以掌控，从而难以得到良好的效果。例如不清楚在硅片的什么阶段腐蚀或者要腐蚀了多长时间才能达到最好效果。常用的方法是分组做实验，每组之间腐蚀的时间不同，腐蚀完之后再去检测，然后对比结果来估计最佳腐蚀时间，最后来通过实验来验证最佳腐蚀时间。在生物化学方面的实验时，试剂对细胞等的作用效果不好掌控，实验效率不高。常用方法是利用不同试剂量来进行对比性检测，并定时用显微镜进行观察并记录特征，这种方法不仅使科研人员工作量大，并且不能同时对几个点进行对比性检测，不能长时间观测在实验中样品的连续变化情况，容易丢失相关的实验数据。

中国专利CN201434891公开一种多功能旋转自动检测台，包括机架，机架上依次设有上层结构、中层结构和下层结构；其中上层结构设有测量仪表；中层结构周围分布有若干检测机构，此种检测台对较大物体有较好的检测作用，但不能检测较小物体，而且结构复杂。

发明内容

本发明的目的是提供结构简单、可检测较小物体，便于采集化学机械研磨（CMP）或生物样本实验过程的视频、图像的一种悬挂式检测台。

本发明设有底座、十字形横梁、旋转臂定位轴、旋转臂、2组摄像头组件和2根立柱；

底座表面设有平整的至少2个观测位，各观测位之间设有间隔槽，2根立柱分别固于底座一侧，十字形横梁两端固于2根立柱上端，十字形横梁设有十字形通槽，十字形通槽中设有定位孔，旋转臂定位轴上端固于定位孔中，旋转臂定位轴下部与旋转臂连接，2组摄像头组件分别设于旋转臂一侧，2组摄像头组件均外接显示器。

所述至少2个观测位最好为4个方形观测位，各方形观测位刻有十字形对焦点。

所述十字形通槽中设有定位孔，最好是十字形通槽中对称设有4个定位孔，定位孔为半圆形定位孔。

所述十字形横梁两端固于2根立柱上端，最好是十字形横梁两端通过方形销与2根立柱连接。

所述十字形通槽的宽度与旋转臂定位轴的直径最好相等。

所述2组摄像头组件之间的间距与设于所述十字形通槽中的对称2个定位孔之间的间距最好相等。

与现有技术比较，本发明的工作原理及有益效果如下：

检测时，调整旋转轴，使之在4个定位孔中的某1个定位孔中定位，然后通过锁紧螺母使旋转轴固定，接着调节旋转臂，在显示器中观察摄像头中的图像能对焦到方形观测位中的十字形对焦点时，通过锁紧螺母使旋转臂固定，接着将准备好的光学元器件、器皿等放入测试区，通过调节摄像头的高度来调节图像在显示器中的视野，直到让摄像头能采集到视野清晰的观测图像。

底座表面上的间隔的4个方形观测位的结构可避免被测产品之间的相互药剂干扰。观测位上放置被测物件（如光学元器件、微生物器皿等）。检测时，选取合适的摄像头，其中摄像头的选取对可以检测到的精度有很大关系，目前较多摄像头都可以放大并能清晰地检测到几百微米甚至是几十微米的级别，这在光学亚表面检测以及微生物方面的检测可以有很好的应用，将摄像头对准被检测物，调整好位置和检测范围，检测过程中，可在被检测物两侧适当加强光线，确保摄像头能采集到清晰的图像；摄像头摄入的图像通过数据线连接到相关的视频、图像处理芯片，最终将芯片处理后的图像数据显示在显示器中，实验人员可以观测分析并记录。

本发明不仅具有结构简单、操作方便、检测过程简便等优点，而且便于采集化学机械研磨（CMP）（如检测光学玻璃的表面粗糙度、亚表面损伤程度等）及生物生理等实验过程的视频或图像资源，实验过程中可以进行连续的有对比性的进行观测。

附图说明

图1为本发明实施例的结构组成示意图。

图2为本发明实施例的十字形横梁结构示意图。

图3为本发明实施例的旋转臂定位轴结构示意图。

图4为本发明实施例的旋转臂结构示意图。

具体实施方式

参见图1～4，本发明实施例设有底座9、十字形横梁3、旋转臂定位轴11、旋转臂13、2组摄像头组件7（含摄像头15）及2根立柱14。