[发明专利]大尺寸面板用输送板

说明书

技术领域

本发明涉及利用空气的浮力，将各种显示板及大尺寸薄板以非接触的方式移送的输送板，具体是，输送大尺寸面板时，可以抑制晃动，提高移送时的稳定性，且抑制边缘下垂现象而保持平坦度的大尺寸面板用输送板。

背景技术

在线检测装备（In-Line FPD Automatic Optical Inspection）是指引导TFT LCD板或PDP、彩色滤光片等显示板（display panel）等同时使用光学透镜和CCD摄像头捕捉图像之后，应用图像处理算法检测出用户需要找出的各种缺陷的装备。

所述在线检测装备大体上分为检测不良的扫描部（scan section）、review section、unlaod section。所述检验装备为发挥作为检验系统的作用，不仅需要准确检测出缺陷所在位置和大小，而且从扫描部到unlaod section引导被输送体（检验对象）的输送装置的作用也是一个重要的因素。

作为传统的输送装置，曾公开了一种利用滚轮（roller）的旋转力输送被输送体的接触式输送装置，但该装置因滚轮的旋转产生斑点，而且摩擦力小或者旋转力弱，输送体被下滑而输送上并不顺利。

为解决所述问题，目前正在使用对多个气孔上充入压缩空气，用从气孔上喷出的空气将被输送体浮起输送的非接触式输送装置。所述接触式输送板中韩国专利注册第650290号（2006.11.27.公告）和韩国专利注册第886968号(2009.03.09.公告)是在空气喷出的气孔内部任意形成细缝从中喷出空气。

首先，专利第650290号如图1所示，在输送板的上板110上形成的气孔a1内部连接螺栓112，在该螺栓112上装配形成细缝的垫圈113，由垫圈113和螺栓112的螺线形成喷出空气的结构。

专利第886968号如图2所示，在输送板的上板220上形成的气孔221的内部插入弹簧销222，使销部223被插进气孔221的内侧而形成一定的细缝。

专利第650290号是将螺栓112和垫圈113作为阻力装置，喷出低流量空气，但气孔111上形成的内螺纹和螺栓112上形成的外螺纹不能始终按一定规格提供，而从气孔111上喷出的空气不均匀。就是说，内螺纹是用人工加工（TAP加工）方式形成而具有一定规格，但螺栓不是根据内螺纹的规格进行加工，一般使用成品，因此从螺线之间泄漏出去的气体量在每个气孔之间的差异较大。因每个气孔的气体喷出量相差较大，而在输送板上的悬浮的被浮体会失去平坦度，振动较大而检验的可靠性也随之下降。

专利第886968号是在具有一定规格的气孔221和在此气孔上插入具有一定规格的销部223，使整个区段分布均匀地喷出空气，但具有固定作用的弹簧部224不能始终被垂直地固定住而销部223被倾斜插入，或者对销部223的直进性而无法均匀地对准气孔221的细缝。为解决所述问题，本申请人通过韩国专利注册第10-0938355号（2010.01.22公告）提出了一种通过螺旋线均匀地喷出高压气体的非接触式输送板。

本申请人提供的非接触式输送板其组成包括：外部的空气流入后填充上部面上形成的空气室的中板；结合于所述中板的上部，使所述空气室内的空气从上部面上喷出，且形成所述空气室连通的多个气孔的上板。所述气孔的内部下侧形成直径大于所述气孔的延伸部，所述延伸部内形成节圆（pitch）较大的螺旋线，所述螺旋线上插入销使其具有既定的摩擦力。所述结构的非接触式输送板是使空气在气孔的内部的销和螺旋线槽之间缝隙流动，而使从气孔上喷出的流量的偏差最小化的同时，使各气孔的气压和喷出量保持均匀。

但，本申请人提出的非接触式输送板是需要在气孔的内面上加工螺旋线，加工难度太大而不利于批量生产，输送率也大幅下降。而且从气孔喷出的空气的推进旋转力是其性能虽然优于传统技术，但仍然存在很多缺陷，无法将被输送体被稳定支承的状态下输送。

为解决所述问题，本申请人曾经通过韩国专利注册第10-1091561号（2011.12.13公告）提出过一种“非接触式输送板”。