[发明专利]玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其中，使熔融玻璃从成形体溢流而成形连续的薄板玻璃，并利用辊夹持所述薄板玻璃而向下方搬送，

所述玻璃基板的制造方法的特征在于，

为了减小所述玻璃基板的翘曲和应变，将一边利用所述辊对从所述成形体流下的所述薄板玻璃向下方拉伸一边进行退火时形成的所述薄板玻璃的宽度方向的温度分布沿流动方向控制成预定的设定，并且，

以维持用于支承所述辊的辊轴的直线度并抑制对薄板玻璃的温度分布的影响的方式，对所述辊轴进行冷却。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

控制所述辊轴的温度，以使安装有所述辊的一侧的所述辊轴前端面的温度至少不会比接近轴支承部的一侧的位于炉内的侧面部低。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

所述辊轴是将安装辊的一侧的前端部堵住而成的中空结构，将在侧面具有多个开口孔且直径比所述辊轴的孔内径小的内管插入于所述辊轴中空部，从所述内管的后端部供给冷却介质，由此，使从多个孔喷出的冷却介质从直角方向与壁面接触，从而对所述辊轴从中空部内表面在较广的范围内有效地进行冷却，将该辊轴的温度在长度方向上控制成任意的不同的温度分布。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

利用隔热材料覆盖比所述辊轴的辊安装部靠根部侧的、所述辊轴在退火炉内露出的部位。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

使用沿所述薄板玻璃的宽度方向设置的热源，对所述薄板玻璃沿所述薄板玻璃的宽度方向赋予温度分布来进行退火。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

所述辊所夹持的所述薄板玻璃的温度为600℃～1100℃。