[发明专利]一种磷扩散炉抽风管缓冲箱无效
申请号: | 201310018230.6 | 申请日: | 2013-01-17 |
公开(公告)号: | CN103088428A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 陈功 | 申请(专利权)人: | 陈功 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;H01L21/223 |
代理公司: | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人: | 胡根良 |
地址: | 313100 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 抽风 缓冲 | ||
1.一种磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:包括方形的缓冲箱体,所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,磷扩散炉的炉管通过所述炉管开口伸入所述缓冲箱,炉管口部上设有炉帽,所述炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体,所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴,所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环,所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间,所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,所述密封门右侧与缓冲箱体铰接,所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构,所述密封门上设有导流结构,所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。
2.根据权利要求1所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:所述密封门上边沿、下边沿及右边沿设有密封条进行密封。
3.根据权利要求2所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:所述导流结构为密封门左侧边沿的导流槽。
4.根据权利要求3所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:所述锁闭结构包括导流槽中间安装的挂钩及缓冲箱体左侧边对应该挂钩设置的挂扣。
5.根据权利要求4所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:所述缓冲箱为312不锈钢结构,所述缓冲箱内壁涂覆有特氟龙涂层。
6.根据权利要求1所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:所述帽体底部外壁焊接有一石英把手。
7.根据权利要求6所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:所述开口延嘴长度控制在3-5cm,开口延嘴内径控制在0.5-1cm。
8.根据权利要求7所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:所述卡环厚度等于帽体底部壁厚。
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