[发明专利]用于激光打印设备的扫描反光镜及其制作方法

权利要求书

1.一种用于激光打印设备的扫描反光镜，所述扫描反光镜包括：

框架；

一对固定电极指状物组，其连接到所述框架，所述固定电极指状物组中的每个包括多个固定电极；

一组扭转铰链，其连接到所述框架；

反光镜板，其连接到所述扭转铰链；以及

一对可动电极指状物组，其连接到所述反光镜板，所述可动电极指状物组中的每一者包括多个可动指状物，其中所述多个可动指状物被构造为与所述多个固定指状物相交错。

2.根据权利要求1的扫描反光镜，其中：

所述多个固定指状物的特征在于第一组的相对面具有比所述多个固定指状物的其他面更大的表面面积；

所述多个可移动指的特征在于第二组的相对面具有比所述多个可动指状物的其他面更大的表面面积；以及

当交错时，所述第一组的相对面与所述第二组的相对面相平行。

3.根据权利要求1所述的扫描反光镜，其中，所述框架和所述一对固定电极指状物组包括单晶硅材料。

4.根据权利要求1所述的扫描反光镜，其中，所述一对可动指状物组包括单晶硅材料。

5.根据权利要求1所述的扫描反光镜，其中，所述反光镜板与所述一对可动电极指状物组的表面共面。

6.根据权利要求1所述的扫描反光镜，其中，所述一组扭转铰链与所述一对可动电极指状物组共面。

7.一种制作用于激光打印设备的扫描反光镜的方法，所述方法包括：

提供SOI衬底，其包括第一硅层、与所述第一硅层邻接的氧化硅层以及与所述氧化硅层邻接的第二硅层；

从所述第二硅层的第一部分形成一对可动电极指状物组；

从所述第二硅层的第二部分形成反光镜板；

从所述第一硅层的第一部分形成一对固定电极指状物组；

从所述第一硅层的第二部分形成反光镜旋转区域；

移除所述氧化硅层以形成反光镜结构；以及

将所述反光镜结构安装到电极衬底上。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一硅层包括单晶硅材料。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第二硅层包括单晶硅材料。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，与所述氧化硅层邻接的所述第二硅层的表面限定了所述一对可动指状物组的表面和所述反光镜板的表面。

11.根据权利要求7所述的方法，其中，移除所述氧化硅层包括执行化学蚀刻处理。