[发明专利]物品保管设备及物品保管方法

说明书

技术领域

本发明涉及物品保管设备以及使用了这样的物品保管设备的物品保管方法，所述物品保管设备包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，向收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部供给惰性气体；以及控制装置，控制所述搬运装置的动作和所述惰性气体供给部的流量调节装置的动作。

背景技术

作为上述的物品保管设备的一例，已知如下所述的带净化功能的包括物品保管架的物品保管设备。该物品保管架具有多个收纳部，该多个收纳部收纳用于容纳半导体晶片的FOUP等搬运容器，在各收纳部具有供给喷嘴，该供给喷嘴作为向搬运容器的内部供给例如氮气或氩气等惰性气体的惰性气体供给部。

在日本特开2010-16199号公报（专利文献1）中公开了这样的物品保管设备的一例，在该物品保管设备中，在搬运容器收纳于收纳部时和没有收纳于收纳部时，改变从供给喷嘴排出的惰性气体的流量。

具体来说，在上述专利文献1中构成为，搬运容器没有收纳于收纳部时的惰性气体的流量小于搬运容器收纳于收纳部时的流量。即，搬运容器收纳于收纳部时的惰性气体的流量设定为向搬运容器内供给足够的惰性气体所需要的必要流量（称为第一流量）。另一方面，搬运容器没有收纳于收纳部时的排出流量设定为比上述第一流量少的流量（称为第二流量），以便防止杂质微粒蓄积于上述供给喷嘴。由此，即使在搬运容器没有收纳于收纳部的情况下，与从供给喷嘴排出第一流量的惰性气体的情况相比，能够抑制净化所需要的惰性气体的消耗量从而降低成本。

但是，在上述专利文献1中，对于物品保管架的所有的收纳部，以在供给第一流量的惰性气体的状态和供给第二流量的惰性气体的状态之间切换这样一种供给方式来供给惰性气体。并且，没有收纳搬运容器时的惰性气体的流量设定为比较少量的第二流量。因此，在例如为了在更换了作为惰性气体供给部的供给喷嘴等后除去附着于该惰性气体供给部的杂质微粒而考虑进行惰性气体的通流的情况下，由于惰性气体的流量设定为第二流量，所以惰性气体的流量少，因此恐怕无法充分清扫惰性气体供给部，或者即使能够清扫，要充分地除去杂质微粒也需要很长的时间。

发明内容

鉴于上述背景，期望实现容易将需要流量的惰性气体供给到各收纳部的物品保管设备。

本发明的物品保管设备包括：

多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；

搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；

惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；

控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及

将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，

这里，所述控制装置构成为，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式，并且所述控制装置构成为，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式。

根据上述结构，在多个惰性气体供给部中的由特定供给部选择部所选择的特定供给部中，能够以与容器保管模式下的供给方式不同的对于该特定供给部适合的供给方式供给惰性气体。

对此加以说明，在供给惰性气体时只能按照容器保管模式使惰性气体供给部动作的情况下，在需要比容器保管模式下的流量多或者少的流量的惰性气体的惰性气体供给部中，无法供给需要流量的惰性气体。

与此相对，根据上述结构，由于在特定供给部中能够以特定供给部用供给方式供给惰性气体，因此，通过设定在特定供给部中所需要的惰性气体的供给方式来作为特定供给部用供给方式，能够抑制如上所述的在特定供给部中无法供给需要流量的惰性气体的状况的发生。

即，根据上述结构，能够变更多个惰性气体供给部中的所选择的惰性气体供给部中的惰性气体的供给方式，其结果为能够提供容易将需要流量的惰性气体供给到各收纳部的物品保管设备。

本发明的物品保管设备的技术特征也能够应用于物品保管方法，本发明还能够以这样的方法为权利保护对象。在该物品保管方法中，也能够获得上述的物品保管设备的作用效果。