[发明专利]水性切削液组合物有效
| 申请号： | 201280077399.2 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN104955929B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | Y·朱;B·梁;A·刘;W·于 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C10M173/00 | 分类号： | C10M173/00;C10M145/26;C10N40/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切削液 金刚石线锯 水性切削液 金属离子 晶片清洁 聚烷二醇 冷却效率 氢气产生 不可燃 不敏感 润滑性 切削 硅锭 切屑 浊点 悬浮 | ||
1.一种用与基于水的切削液结合使用的线锯切削硅锭或硅晶片的方法，所述方法包含使所述硅锭或硅晶片与所述线锯和切削液在切削条件下在所述切削液的工作温度下接触的步骤，所述切削液包含：
0.01至20重量％的浊点为30℃至80℃的水溶性PAG，其中所述水溶性PAG的浊点低于所述切削液的工作温度，
90至98重量％的水，
聚醚接枝聚羧酸酯分散剂，和
以下各项中的至少一者：
湿润剂；
消泡剂；
腐蚀抑制剂；
螯合剂；和
杀生物剂，其中所述重量％基于所述切削液的总重量计。
2.根据权利要求1所述的方法，其包含湿润剂、消泡剂、腐蚀抑制剂、螯合剂和杀生物剂中的至少两者。
3.根据权利要求1所述的方法，其包含湿润剂、消泡剂、腐蚀抑制剂、螯合剂和杀生物剂中的至少三者。
4.根据权利要求1所述的方法，其包含湿润剂、消泡剂、腐蚀抑制剂、螯合剂和杀生物剂中的至少四者。
5.根据权利要求1所述的方法，其包含湿润剂、消泡剂、腐蚀抑制剂、螯合剂和杀生物剂中的至少五者。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述湿润剂以0.01至5重量％的量存在；所述聚醚接枝聚羧酸酯分散剂以0.01至20重量％的量存在；所述消泡剂以0.01至5重量％的量存在；所述腐蚀抑制剂以0.01至2重量％的量存在；所述螯合剂以0.01至2重量％的量存在；和/或所述杀生物剂以0.01至2重量％的量存在；其中所述重量％的值基于所述切削液的重量计。
7.根据权利要求6所述的方法，其进一步包含极性溶剂增稠剂、染料或芳香剂中的一或多者。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中存在所述湿润剂和消泡剂。
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