[发明专利]用于制造部件的方法

说明书

本发明涉及一种用于在基底内制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)化学蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述部件。

技术领域

本发明涉及一种部件，该部件包括从该部件的至少其中一个表面延伸到该部件中的至少一个凹陷部。

背景技术

从现有技术中已知的是，一些由单晶或多晶材料制成的微技术零件是通过蚀刻制成的。此工艺包括：获取待蚀刻的基底，以及将一层光敏树脂沉积在顶部。在树脂上放置掩膜，并且将整个组件暴露在光线下，以使暴露在光线下的光敏树脂结构改变/改性。通过化学元素的作用除去改变的树脂，使得基底在除去树脂处裸露。

接下来，对基底的这些裸露的区域进行化学蚀刻，以便形成中空部。化学试剂选择为仅蚀刻形成基底的材料，而不会蚀刻没有改变的光敏树脂。此化学蚀刻步骤的持续时间决定了中空部的尺寸。

同样地，可以设想通过机加工和/或抛光来制造微技术零件，因此钻头或抛光机可用于形成所述零件。

这种化学蚀刻工艺的第一个缺陷在于，它不能生成具有垂直壁或侧面的中空部。事实上，所获得的中空部具有倾斜的或者倒圆的侧面。这意味着，中空部的表面随深度而变化，即，表面随着中空部的深度而变得更大或更小。通常，表面随深度变得更小。这一观察结果意味着必须修改理论计算以获得具有垂直侧面的中空部。此外，中空部的轮廓在理论和实践之间的这种变化导致了特性的改变。

这些化学蚀刻或机加工工艺的第二个缺陷在于，它们不能形成具有复杂深度的结构。事实上，化学蚀刻只能在表面形成中空部，因为侧面的倾斜意味着蚀刻不可能更深入。对于机加工，使用抛光机和钻头也不能形成复杂的内部结构。例如，可以制造由单块红宝石(即，由开有盲孔的单块宝石形成)制成的钟表轴承，但是该轴承不能被润滑，除非提供储存润滑剂所必需的结构。

发明内容

本发明的一个目的在于，通过提出一种制造部件的制造方法来克服上述缺陷，其中，所述部件包含具有直的侧面和内部结构并且不仅位于表面处的中空部。

因此，本发明涉及一种在基底中制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：

a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；

b)蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造该部件。

本发明的一个优点在于，由于所使用的材料选择为可透过激光，因此可以形成位于表面下方的凹陷部。这使得激光能够瞄准部件表面之上或下方的任一点。因此，使该材料具有选择性，以便随后的化学蚀刻仅在通过激光产生改变的材料上进行。因此，获得了一种允许形成复杂的内部凹陷部的方法。

本发明的方法的有利实施例形成了从属权利要求的主题。

在第一有利实施例中，该方法还包括下述步骤：

c)从该基底释放部件。

在第二有利实施例中，基底由可透过激光波长的材料制成。

在第三有利实施例中，激光脉宽的范围是从飞秒到皮秒。

在第四有利实施例中，基底由单晶材料制成。

在第五有利实施例中，基底由多晶材料制成。

在另一有利实施例中，基底由聚合物制成。

在另一有利实施例中，基底由诸如陶瓷或玻璃的无定形材料制成。

在另一有利实施例中，所述部件为钟表部件。

在另一有利实施例中，所述部件为钟表轴承。

在另一有利实施例中，基底包括在改变结构的步骤之前形成的盲孔。