[发明专利]编码器、编码器用标尺制造方法、编码器制造方法及驱动装置

说明书

技术领域

本发明涉及编码器、编码器用标尺的制造方法、编码器的制造方法及驱动装置。

本申请基于2011年12月28日提出的日本特愿2011-287350号主张优先权，将其内容援引于此。

背景技术

作为检测包含马达的旋转轴等在内的旋转体的转速、旋转角度、旋转位置这样的旋转信息的装置，公知有编码器。作为这样的编码器的一种，公知有例如反射型的光学式编码器(例如，参照专利文献1)。反射型的光学式编码器具有例如在表面上形成有反射区域和非反射区域的圆板部件，利用光接收元件检测在该反射区域中反射的光来检测所述旋转信息。

制造圆板部件时，例如，在形成为镜面状的基板的表面上，通过光刻法等的方法对光吸收层制作图案。例如包括如下工序，在基板的表面上形成多层膜之后，将该基板浸渍于蚀刻液来进行多层膜的蚀刻。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2007-121142号

但是，在例如使用非处理的铝(例如纯铝)等溶解于蚀刻液的材料形成基板的情况下，将基板浸渍于蚀刻液时，基板的一部分溶解，该溶解的铝残留在图案之间等，存在成为蚀刻处理的阻碍的情况。因此，存在制作图案精度降低的情况，导致成品率的降低。

发明内容

本发明的目的是提供能够减少成品率的降低的编码器、编码器的制造方法及驱动装置。

根据本发明的第一方式，提供一种编码器，其具有：标尺部，具有由金属材料构成的基材，在所述基材的第一面上形成有图案，并且在所述基材中的与所述第一面不同的第二面上形成有非动态部；检测部，与所述标尺部相对地移动并检测图案。

根据本发明的第二方式，提供一种编码器用标尺的制造方法，其包括：非动态部形成工序，在由金属材料构成的基材中的与形成图案的第一面不同的第二面上形成非动态部；在所述第一面上形成图案层的图案层形成工序；蚀刻工序，将所述基材浸渍于蚀刻溶液并除去图案层的一部分而形成图案。

根据本发明的第三方式，提供一种编码器的制造方法，其包括：本发明的第二方式的编码器用标尺的制造方法；形成用于检测所述图案的检测部的检测部形成工序。

根据本发明的第四方式，提供一种驱动装置，其具有本发明第一方式的编码器。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种能够防止成品率降低的编码器用标尺的制造方法、编码器的制造方法、编码器及驱动装置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的驱动装置(马达装置)的结构的图。

图2是表示本实施方式的编码器的一部分的结构的图。

图3是表示本实施方式的编码器的一部分的结构的图。

图4是表示本实施方式的编码器的制造方法的流程图。

图5是表示本实施方式的编码器的制造过程的工序图。

图6是表示本实施方式的编码器的制造过程的工序图。

图7是表示本实施方式的编码器的制造过程的工序图。

图8是表示本实施方式的编码器的制造过程的工序图。

图9是表示本实施方式的编码器的制造过程的工序图。

图10是表示本实施方式的编码器的制造过程的工序图。

图11是表示本实施方式的编码器的制造过程的工序图。

图12是表示本实施方式的编码器的制造过程的工序图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

图1是作为驱动装置(测定对象)的一例，表示马达装置MTR的结构的剖视图。

如图1所示，马达装置MTR具有：移动体(转子)即移动轴(旋转轴)SF；使该旋转轴SF旋转的驱动部即马达主体BD；检测旋转轴SF的移动信息(例如旋转信息)的编码器EC。编码器EC为了检测移动体的移动信息，具有标尺部(旋转部、标尺)R及与所述标尺部相对地移动的检测部D。编码器EC在构成检测部D的框体30内收容有旋转部R的状态下被使用。此外，本实施方式的编码器EC是标尺部(旋转部)R向移动方向(例如旋转方向)移动的结构。

旋转部R具有圆板部件(基材)S及磁铁部件M。

圆板部件S被固定在旋转轴SF上。圆板部件S以旋转轴SF为中心轴与该旋转轴SF一体地旋转。圆板部件S通过例如铝或铝化合物等金属材料形成为圆盘状。作为圆板部件S的构成材料，当然可以使用其他的金属材料(例如不锈钢、钛、镍、铜或它们的化合物等)。