[发明专利]玻璃微粒沉积体以及玻璃预制件的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，包括如下的沉积工序：

将容纳于原料容器内的液态的玻璃原料加热，使其气化而作为玻璃原料气体，

通过配管将该玻璃原料气体从所述原料容器导入到玻璃微粒生成用燃烧器，

使所述玻璃原料气体从该玻璃微粒生成用燃烧器中喷出，

使通过该玻璃原料气体的火焰分解反应而生成的玻璃微粒沉积在反应容器内的起始棒上，以制作玻璃微粒沉积体；

该玻璃微粒沉积体的制造方法的特征在于，

通过发热体对所述沉积工序中的从所述原料容器起到所述玻璃微粒生成用燃烧器为止的所述配管的至少一部分进行温度控制，以使该燃烧器侧成为高温，并且达到5℃/m以上的温度梯度，

将在从所述原料容器起到所述玻璃微粒生成用燃烧器为止的所述配管内流动的玻璃原料气体的雷诺数设为2000以上。

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

通过发热体对所述沉积工序中的从所述原料容器起到所述玻璃微粒生成用燃烧器为止的所述配管的至少一部分进行温度控制，以使该燃烧器侧成为高温，并且达到15℃/m以上的温度梯度。

3.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

通过发热体对所述沉积工序中的从所述原料容器起到所述玻璃微粒生成用燃烧器为止的所述配管的至少一部分进行温度控制，以使该燃烧器侧成为高温，并且达到25℃/m以上的温度梯度。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

通过发热体将所述沉积工序中的从所述原料容器起到所述玻璃微粒生成用燃烧器为止的所述配管的至少一部分控制为100℃以上的温度。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

将所述沉积工序中的所述玻璃微粒的粒径设为10nm以上，在所述玻璃微粒生成用燃烧器的火焰内，使所述玻璃微粒在粒子间结合，并将结合后的粒子群的质量设为1.8×10^-17g以上。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

将所述沉积工序中的投入到所述玻璃微粒生成用燃烧器中的玻璃原料气体的温度保持在100℃以上，在距所述玻璃微粒生成用燃烧器的玻璃原料气体的喷出口700mm以内，使玻璃原料气体化学变化为氧化硅气体，同时在距所述玻璃微粒生成用燃烧器的玻璃原料气体的喷出口20mm的位置处，将经化学变化而成的氧化硅气体的分压设为氧化硅气体的饱和蒸气压以上。

7.根据权利要求6所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

在所述沉积工序中，在距所述玻璃微粒生成用燃烧器的玻璃原料气体的喷出口20mm的位置处，将经化学变化而成的氧化硅气体的分压设为氧化硅气体的饱和蒸气压的1.5倍以上。

8.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

通过发热体将所述沉积工序中的从所述原料容器起到所述玻璃微粒生成用燃烧器为止的所述配管的至少一部分控制为100℃以上的温度，同时将由所述玻璃微粒生成用燃烧器生成的所述玻璃微粒的斯托克斯数设为0.5以上。

9.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

在所述沉积工序中，通过发热体将从所述原料容器起到所述玻璃微粒生成用燃烧器为止的所述配管的至少一部分控制为100℃以上的温度，同时通过发热体将所述玻璃微粒生成用燃烧器中的从所述配管侧的端部到长度方向的1/3以下的区域控制为100℃以上的温度。

10.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，

所述发热体为带加热器。