[发明专利]电铸形成用于圆顶开关的圆顶的系统和方法

权利要求书

1.一种用于在圆顶开关中使用的电铸圆顶，包括：

电铸的金属结构，其包括：

具有基本均匀的厚度的三维圆顶形状，并且由至少95%的镍组成。

2.如权利要求1所述的电铸圆顶，其中：

所述金属结构由至少98%的镍组成。

3.如权利要求1所述的电铸圆顶，其中：

所述厚度在15微米到500微米的范围内。

4.如权利要求1所述的电铸圆顶，其中：

所述厚度在15微米到30微米的范围内。

5.如权利要求1所述的电铸圆顶，其中：

所述金属结构的所述厚度波动正或负500纳米。

6.如权利要求1所述的电铸圆顶，其中所述金属结构进一步包括：

与所述金属结构的顶点基本相邻设置的凸起。

7.如权利要求1所述的电铸圆顶，其中所述金属结构进一步包括：

限定了单个平面的闭合周边；以及

其中所述三维圆顶形状延伸到所述单个平面之外，并且其中所述单个平面与所述三维圆顶形状之间的过渡是平滑的。

8.如权利要求7所述的电铸圆顶，其中：

所述三维形状包括围绕垂直于所述单个平面的轴线旋转的样条。

9.如权利要求7所述的电铸圆顶，其中：

所述三维形状包括球体表面的一部分。

10.如权利要求1所述的电铸圆顶，进一步包括：

施加到所述金属结构的表面的金涂层。

11.一种电铸弹片圆顶的片材，包括：

平面片材，其具有均匀的厚度并且由至少98%的镍组成；

多个三维圆顶形状，其包括分布在所述平面片材上的在三维上弯曲的表面，其中所述多个三维圆顶形状中的每个具有等于所述平面片材的厚度的均匀厚度，其中所述平面片材的厚度和所述多个三维圆顶形状的厚度的波动小于3微米。

12.如权利要求11所述的片材，其中：

所述多个三维圆顶形状均匀地分布在所述平面片材上。

13.如权利要求11所述的片材，其中：

所述多个三维圆顶形状具有相同的大小和形状。

14.如权利要求11所述的片材，其中：

所述多个三维圆顶形状包括具有第一尺寸和第一形状的第一组圆顶形状，以及具有第二尺寸和第二形状的第二组圆顶形状。

15.如权利要求14所述的片材，其中：

第一形状与第二形状不同。

16.如权利要求14所述的片材，其中：

第一尺寸与第二尺寸不同。

17.一种制作用于在圆顶开关中使用的电铸圆顶的方法，包括：

提供包括平面表面的芯模，其中至少一个三维圆顶形状从该平面表面延伸到该平面表面的平面之外；

使用电铸过程在所述芯模上沉积镍，以形成具有与所述平面表面的形状相对应的形状以及至少一个三维圆顶形状的镍片材；以及

分割出所述镍片材的具有与所述至少一个三维圆顶形状相对应的形状的部分，以将电铸圆顶从所述片材分离。

18.如权利要求17所述的方法，其中分割进一步包括：

电化学蚀刻所述镍片材的所述部分以将所述电铸圆顶从所述片材分离。

19.如权利要求17所述的方法，其中分割进一步包括：

光蚀刻所述镍片材的所述部分以将所述电铸圆顶从所述片材分离。

20.权利要求17所述的方法，其中分割进一步包括：

激光切割所述镍片材的所述部分以将所述电铸圆顶从所述片材分离。