[发明专利]阻气膜及器件

权利要求书

1.膜，其在基体材料膜的至少一面上层叠由包含乙烯基化合物的聚合性组合物的固化物形成的锚固层，并在该锚固层上层叠有由氧化铝构成的蒸镀层，其中，

在所述蒸镀层的厚度方向的至少一部分区域中，氧化铝(AlxOy)的组成比(y/x)的峰位于2.1～3.0。

2.根据权利要求1所述的膜，其中，在由氧化铝构成的蒸镀层的厚度方向的至少一部分区域中，氧化铝的密度为3.4g/cm³以上。

3.根据权利要求1或2所述的膜，其中，在由氧化铝构成的蒸镀层的厚度方向的至少一部分区域中，氧化铝的密度为3.45～3.7g/cm³。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的膜，其中，在由氧化铝构成的蒸镀层的厚度方向的至少一部分区域中，氧化铝的密度为3.5～3.6g/cm³。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的膜，其中，在由氧化铝构成的蒸镀层的厚度方向的至少一部分区域中，氧化铝(AlxOy)的平均组成比(y/x)的峰位于2.2～2.8。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的膜，其中，由氧化铝构成的蒸镀层的厚度方向的至少一部分区域位于与锚固层的界面附近。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的膜，其中，水蒸气透过率为1×10^-3g/m²/天以下。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的膜，其中，由氧化铝构成的蒸镀层的厚度为5～100nm。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的膜，其中，锚固层的轮廓算术平均偏差为0.1～2.0nm。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的膜，其中，在锚固层中存在硅原子。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的膜，其中，基体材料膜为包含选自环状聚烯烃、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯及聚酰亚胺中的至少一种的膜。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的膜，其中，对由氧化铝构成的蒸镀层的未形成锚固层的面进行电晕处理或等离子体处理。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的膜，其中，在由氧化铝构成的蒸镀层上层叠由氧化硅构成的蒸镀层。