[发明专利]抽空室

权利要求书

1. 一种降低由真空泵吸系统产生的噪声的方法，所述真空泵吸系统操作以抽空室，所述方法包括以下步骤：

以额定速度操作所述真空泵吸系统以将室压力降低至第一压力；

确定所述真空泵吸系统的进口处的压力即将变为高于所述第一压力的第二压力；

响应于所述确定步骤，将所述真空泵吸系统中的增压泵的速度降低至低于所述额定速度的第二速度；并且然后

当所述真空泵吸系统的进口处的压力高于所述第二压力时，将所述增压泵的速度增大至所述额定速度。

2. 一种降低由真空泵吸系统产生的噪声的方法，所述真空泵吸系统操作以抽空连接于半导体处理工具的负载锁室，所述方法包括以下步骤：

以额定速度操作所述真空泵吸系统以将负载锁室压力保持在第一真空压力下；

启动阀以将所述负载锁室与所述真空泵吸系统隔离；

确定所述负载锁室中的压力已经增大到大于所述第一压力的第二压力；

将所述真空泵吸系统中的增压泵速度减小到低于所述增压泵的额定速度的第二速度；并且

在所述负载锁室和真空泵再连接之后将所述增压泵的速度增大至所述额定速度。

3. 根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二压力为大气压力。

4. 根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二速度小于所述额定速度的一半。

5. 根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第二速度为所述额定速度的20%。

6. 根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括当所述室中或所述泵的进口处的压力低于所述第一压力时减小所述增压泵的速度的步骤。

7. 一种抽空室的方法，包括以下步骤：

经由气体导管将所述室连接于真空泵系统；

以第一速度操作所述真空泵系统以将所述室抽空至第一压力；

确定所述室中的压力即将变为高于所述第一压力的第二压力，且将所述真空泵系统中的增压器的速度变为低于所述第一速度的第二速度；并且

一旦所述真空泵系统的进口处的压力处于第二压力，则增大所述增压器的速度。

8. 根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二压力为大气压力。

9. 根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二速度小于所述额定速度的一半，或其中所述第二速度为所述额定速度的20%。

10. 根据权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括当所述室中或所述泵的进口处的压力低于所述第一压力时减小所述真空泵的速度的步骤。

11. 根据权利要求1或2或7所述的方法，其特征在于，还包括通过使用或将气体负载引入所述增压泵中，或通过启动所述增压器转子上的制动系统，或通过使用增压泵马达，或它们的任何组合来降低所述增压泵的速度的步骤。

12. 一种真空泵吸系统，其布置成连接于室以用于将所述室抽空至第一真空压力，所述真空泵吸系统包括：

真空泵和设置在所述真空泵与室之间的增压泵；

可变速马达，其用于以额定速度或低于额定速度驱动所述增压器；和

增压泵控制单元，其用于预测所述增压泵的进口处的压力何时将处于大气压力，且用于改变所述增压泵的转子的速度，所述控制单元构造成在所述进口处的压力处于大气压力之前减小所述增压泵转子的速度。

13. 根据权利要求12所述的真空泵吸系统，其特征在于，提供用于改变所述增压泵的转子的速度的器件包括制动器件或气镇引入器件中的任一者，所述气镇引入器件用于在所述增压泵的进口处以相对高的压力引入气体。

14. 根据权利要求13所述的真空泵吸系统，其特征在于，所述制动器件包括马达，所述马达适用以主动地减慢所述增压泵的转子。