[发明专利]微细结构成形体和包括该微细结构成形体的液晶显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及线栅型偏振器、防反射物品等微细结构成形体、和具有该微细结构成形体的液晶显示装置。

背景技术

作为液晶显示装置、背投电视、前投影仪等图像显示装置所采用的、在可见光区域中显示偏振光分离能的偏振器（也称作偏振元件、偏振光分离元件），公知有一种线栅型偏振器。此外，作为配置在图像显示装置的显示器等的表面、用于防止来自外部的光在显示器的表面反射的构件，公知有一种防反射薄膜等防反射物品。

线栅型偏振器具有多个金属细线在透光性基板上互相平行地排列而成的结构。在金属细线的间距足够短于入射光的波长的情况下，入射光中的、具有与金属细线正交的电场矢量的成分（即p偏振光）透射，具有与金属细线平行的电场矢量的成分（即s偏振光）反射。

在该线栅型偏振器中，由于金属细线非常微细，因此金属细线的耐擦伤性较低。因此，由对于线栅型偏振器的表面的物理接触等导致金属细线易于破损。在线栅型偏振器中，即使仅是金属细线稍微破损，也会影响线栅型偏振器的性能。

因此，为了抑制金属细线的破损，提出了利用保护膜覆盖金属细线的做法，该保护膜是通过采用四乙氧基硅烷和氧气进行的CVD法形成的（专利文献1）。

但是，由于该保护膜并不是利用使高能量的靶成分或者蒸发粒子冲撞于对象基板的PVD法（溅射法、真空蒸镀法等）形成的，而是利用CVD法形成的，因此金属细线和保护膜的密合性不足，由物理接触等导致保护膜易于剥离。因此，需要使保护膜的厚度比较厚（约200nm左右）。其结果，保护膜易于进入到金属细线间的空隙中，该空隙被保护膜填埋而变小，因此线栅型偏振器的光学特性降低。而且，若线栅型偏振器的光学特性降低，则包括该线栅型偏振器的液晶显示装置的亮度、对比度降低。

另一方面，作为防反射物品，例如具有被称作蛾眼结构的、以预定的间距形成有微细凸起的结构。在该防反射物品中，由于凸起非常微细，因此凸起的耐擦伤性较低，由物理接触等导致易于破损。若凸起破损，则会导致防反射能降低，因此期望开发一种抑制该破损的技术。

现在技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－069382号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明提供具有充分的耐擦伤性和光学特性的线栅型偏振器、防反射物品等微细结构成形体、和包括该微细结构成形体的液晶显示装置。

用于解决问题的方案

本发明的微细结构成形体的特征在于，包括：基板，其在至少一个面上以可见光的波长以下的间距形成有凸部；无机氧化物层，其覆盖上述凸部的至少顶部；以及含氟化合物层，其是利用含氟化合物至少处理上述无机氧化物层的表面而形成的，该含氟化合物具有相对于无机氧化物具有反应性的基；上述无机氧化物层的覆盖在上述凸部的顶部的部分的厚度Ha为30nm以上，而且该厚度Ha与宽度Dat之比（Ha／Dat）为1.0以下。

优选的是，上述无机氧化物层覆盖上述凸部的侧面中的至少一部分，上述无机氧化物层的覆盖在该侧面上的部分的宽度方向上的厚度Da与上述宽度Dat之比（Da／Dat）为0.25以下。

优选的是，上述含氟化合物层的厚度Hf为1nm～30nm。

优选的是，上述含氟化合物具有水解性甲硅烷基和氟烷基（也可以在碳－碳原子之间具有醚性氧原子）。

本发明的线栅型偏振器的特征在于，由本发明的微细结构成形体形成，上述凸部是互相平行地形成的凸条，并且，上述凸条中的至少顶部由金属层形成，形成有彼此分开的多个金属细线。

本发明的防反射物品的特征在于，由本发明的微细结构成形体形成。

本发明的防反射物品优选的是，由本发明的微细结构成形体形成，上述基板具有蛾眼结构。

本发明的防反射物品优选的是，上述基板是透光性基板。

本发明的液晶显示装置的特征在于，具有本发明的微细结构成形体。

例如，本发明的液晶显示装置的特征在于，包括在一对基板之间夹持液晶层而成的液晶面板、背光单元以及本发明的线栅型偏振器。

发明的效果

采用本发明，能够提供具有充分的耐擦伤性和光学特性的线栅型偏振器、防反射物品等微细结构成形体、和包括该微细结构成形体的液晶显示装置。

附图说明

图1是表示线栅型偏振器的一例子的立体图。

图2是表示线栅型偏振器的另一例子的立体图。

图3是表示图2的线栅型偏振器的透光性基板的立体图。

图4是表示线栅型偏振器的另一例子的立体图。