[实用新型]金刚石切割线连续复合镀上砂槽

说明书

技术领域  

本实用新型涉及电镀设备技术领域，尤其涉及一种金刚石切割线连续复合镀上砂槽。

背景技术  

随着半导体、集成电路和光伏行业的迅速发展，晶体硅、蓝宝石、石英等硬脆晶体材料的应用日益广泛，对其切割加工技术提出更高的要求，尤其对于晶体硅，下一代集成电路将采用直径大而薄的硅片，这给切割技术带来新的挑战。目前比较成熟的切割工艺为游离磨料线锯切割技术，即在切割同时向锯丝供应带有磨料的砂浆，但其锯缝损耗大，切割大尺寸坯料时磨料难以进入到长而深的切缝，且大量的砂浆需要回收处理；另外，由于锯切作用基于切割线、磨料及晶体硅之间三体磨损原理，磨料必然作用于切割线，从而降低了其使用寿命。针对以上问题，固结金刚石切割线由于不使用游离磨料，产生的切缝较小，具有更高的耐磨性，且环保无污染，而成为下一代切割技术研究的热点。

中国专利CN201220122036.3公开了一种生产金刚石线锯的电镀槽，包括上砂槽、两个导电辊和镍板，两个导电辊分别安装在上砂槽内两侧，镍板通过钛丝框设置在两个导电辊之间；镍板下方并列设置有多个绕线辊。中国专利CN 201220122005.8公开了一种制造电镀金刚石线锯的上砂槽，包括循环槽和循环槽上方分层间隔设置的下部上砂槽与上部上砂槽，下部上砂槽与上部上砂槽底部均设有带有漏液孔的漏液板，上部上砂槽上方设有通过液管与循环槽相通的进液孔，液管上连接有化学泵；下部上砂槽与上部上砂槽两侧均设有导电辊，下部上砂槽与上部上砂槽内均设有镍板。

目前的几种固结金刚石切割线之中，复合电镀金刚石切割线具有强度高、金刚石与基体结合力强、耐热耐磨性好、切割效率高等优良的综合性能，因此复合电镀工艺逐渐成为金刚石切割线的主要生产方式。为了制备高性能金刚石切割线，复合电镀过程中上砂工序最为关键，此工序直接决定着镀层中金刚石含量的多少和镀层与金刚石之间的结合力，对金刚石切割线性能有着重要的影响。而复合镀过程中存在电镀效率低、所需镀槽长度较长和镀层质量可控性较差等缺点，因此通过对上砂电镀设备的设计和优化显得至关重要。

实用新型内容  

本实用新型针对现有金刚石切割线复合电镀过程中电镀效率低、所需镀槽长度较长和镀层质量可控性较差等缺点，提供一种结构简单、电镀效率高、所需镀槽长度和镀层质量可控性较高，并且切割线金刚石分布均匀，镀层与金刚石结合力良好的金刚石切割线连续复合镀上砂槽。

本实用新型是通过如下技术方案来实现的：

金刚石切割线连续复合镀上砂槽，包括电镀槽体、阴极辊、阳极架、装砂槽以及导线轮，所述的阴极辊与电源负极相接、阳极架与电源正极相接，所述的阴极辊设在电镀槽体外侧，所述的电镀槽体中设有镀液，所述的装砂槽承载金刚石微粉，所述的阳极架、装砂槽和缠绕于阴极辊的上下方的切割钢丝均浸于镀液中，所述的阳极架固定于装砂槽下方，所述的阴极辊下方的切割钢丝埋于金刚石微粉中。

所述的阳极架为锡铅合金或不锈钢网状平板架。

所述的装砂槽为网状平板槽，所述的网状平板槽的四周设有挡板。

所述的缠绕于阴极辊上方的切割钢丝埋于金刚石微粉中。

所述的装砂槽上粘结孔径细小的尼龙网。

所述的电镀槽体为长方形槽体，所述的装砂槽设置在电镀槽体槽深2/5处。

所述的复合镀上砂槽为二个或二个以上，各个复合镀上砂槽之间线路联接为并联电路，所述的切割钢丝缠绕阴极辊经过导线轮依次进入各个复合镀上砂槽。