[实用新型]一种磁控溅射镀膜腔室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜腔室，特别涉及一种针对减少掉渣情况的大型磁控溅射镀膜腔室。

背景技术

目前市面上的大型磁控溅射镀膜腔室，在溅射室侧壁的上半部分通常采用表面经过打磨抛光处理的不锈钢挡板，由于抛光表面对溅射物吸附能力有限。

溅射室内部在工作时，只有少部分溅射出的靶材被吸附在抛光的不锈钢挡板表面，吸附量并不大，大多数靶材废渣累积于下侧挡板和底板上；当溅射室停止工作后，溅射室温度会慢慢降低，被吸附于抛光表面的溅射物质，由于吸附不够牢固，极易从表面脱裂，溅落在辊道附近。上述结构存在掉渣严重、积渣容易堆积的问题，当有产品经过该溅射室时，溅落的物质容易掉落在产品表面，导致后面膜层溅射不能完全附着在产品上，直接导致产品报废。

针对上述不足之处，申请号为：201110374715.X的中国发明专利申请《少落尘的真空磁控溅射镀膜设备》公开了一种防落尘装置，通过在溅射区内部焊接不锈钢网，来增加废尘的吸附力，减少落尘的几率，但是其仍然存在以下不足之处：不锈钢网焊接于溅射区内部，拆卸不变，镀膜线需要频繁地停产、并在溅射区内部进行长时间清洗，维护成本较高。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术的上述不足，提供易于清洁、并能够有效减少溅射出的靶材废渣脱落的磁控溅射镀膜腔室。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了以下技术方案：

一种磁控溅射镀膜腔室，包括设置于溅射室的内部的网罩，所述网罩与溅射室可拆卸连接。

优选的，所述网罩由连接钢板与不锈钢网组成，所述连接钢板的截面形状与溅射室内腔侧面的截面形状相适配，所述不锈钢网焊接于连接钢板上，所述网罩通过连接螺栓与设置于溅射室上的螺纹固定孔连接。采用上述结构，网罩以点焊的方式固定在连接钢板上，再通过连接钢板以螺纹连接的方式可拆卸地安装在溅射室的内腔，连接结构稳定、拆装尤为方便。 

优选的，所述溅射室上均布有若干个螺孔，所述网罩上设置有若干个连接孔，所述连接孔的位置与螺纹固定孔的位置一一对应，所述各连接孔内均设置有一个连接螺栓。采用这样的方式，连接结构简单、稳定。

优选的，所述网罩的顶面设置有若干个矩形通孔。

优选的，所述矩形通孔均匀分布于网罩的顶面。矩形通孔与腔室的矩形通孔一一对应。

优选的，所述网罩的横截面呈“U”字型，进一步避免落尘的产生，防止落尘掉落在产品的表面、致使产品报废。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过在溅射室的内部以可拆装的方式设置有网罩，在减少掉渣的同时，更容易清洁，当需要清洁网罩时，只需要将网罩拆下，并通过喷砂、或其他工序进行清洁即可，清洁速度快、效率高，维护成本低。

附图说明

图1为本实用新型中网罩结构的主示意图；

图2为本实用新型中网罩的立体结构示意图；

图3为本实用新型中网罩的截面侧视图。

图中标记：连接钢板—1；连接孔—2；矩形通孔—3；不锈钢网—4。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明。

本实用新型的实施方式不限于以下实施例，在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出的各种变化均属于本实用新型的保护范围之内。

实施例1

本实施例磁控溅射镀膜腔室，包括设置有磁控溅射靶的溅射室，溅射室的内部连接有网罩，磁控溅射靶、以及溅射室的结构为现有结构，在图中未示出。

在图1和图2中所示的结构为连接钢板1，本实施例中，网罩由连接钢板1与不锈钢网4组成，不锈钢网4通过该连接钢板1与溅射室可拆卸连接，所述连接钢板1的截面形状与溅射室内腔侧面的截面形状相适配，所述不锈钢网4焊接于连接钢板1上，所述网罩通过连接螺栓与设置于溅射室上的螺纹固定孔连接，所述连接钢板1的截面形状与溅射室内腔的截面形状相适配，如图3所示，本实施例中，连接钢板1的横截面呈“U”字型、并与被连接的溅射室的内腔形状相适配。

本实施例中，网罩与溅射室是螺栓连接的方式，即连接钢板1通过连接螺栓与溅射室螺纹固定孔连接，具体的：连接钢板1的顶面设置有连接孔2、设置螺栓后与溅射室的内腔螺纹连接，所述不锈钢网4焊接与连接钢板1上，不锈钢网4以点焊的方式固定在连接钢板1上，再通过连接钢板1以螺纹连接的方式可拆卸地安装在溅射室的内腔，连接结构稳定、拆装尤为方便。