[实用新型]一种纳米器件电学测试用钨探针的制备装置

权利要求书

1.一种纳米器件电学测试用钨探针的制备装置，其特征在于：包括盛有电解液的电解槽、线性传感器、马达、支架和隔离管，所述线性传感器固定在支架上，且通过马达带动；所述钨丝与线性传感器连接并能随线性传感器提升，该钨丝作为阳极浸入电解液中；同时阴极也浸入电解液，所述隔离管套在阴极周围，且两端贯通，上端露出液面。

2.根据权利要求1所述纳米器件电学测试用钨探针的制备装置，其特征在于：所述阴极和阳极之间设有能实现电流反向的反向偏压电路，该反向偏压电路，包括包括第一场效应管、第二场效应管、第三场效应管、第四场效应管、电流比较器、支路转换器和限流电阻，所述四个场效应管的源极与衬底连接，所述第一场效应管和第二场效应管组成第一支路，所述第三场效应管和第四场效应管组成第二支路；所述第一场效应管的源极与第四场效应管的漏极连接后，再依次与限流电阻和钨丝连接；所述第三场效应管的源极与第二场效应管的漏极连接后，再与不锈钢丝连接；所述电流比较器检测通过钨丝的电流，当电流大于零时，控制支路转换器切换到第一支路，此时第一场效应管和第二场效应管工作；当电流为零时，控制支路转换器切换到第二支路，此时第三场效应管和第四场效应管工作。