[实用新型]可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种库特勒湿法刻蚀盖板，特别涉及可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板。

背景技术

在现有技术中，目前湿法刻蚀设备制造商有德国的SCHMID公司、德国的RENA公司、苏州KUTTLER公司等，其中KUTTLER湿刻蚀绝缘机相比同类设备具有产品外观好等优点，同时也存问题，比如1.刻蚀方阻上升值大缺点，2.气流不稳定缺点，3.外形不美观。原本KUTTLER湿刻蚀绝缘机的抽风系统管道有两个，无法将刻蚀槽里大部分的酸气给抽走，（如不抽走会对槽体里的片子表面腐蚀造成方块电阻上升值过大，影响电性能。）原本KUTTLER抽风不稳定，会对槽体里的片子造成过刻，影响电性能。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足之处，本实用新型提供可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，有效地解决了上述现有技术存在的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道,蚀刻槽内设有溶液，所述抽风管道为四根,并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位,各抽风管道的管道口处于同一水平面,还包括填充管道,填充管道设置在盖板上。

作为优选：所述朝向溶液的管道口与溶液的液面距离为8cm；

作为优选，所述填充管道为数个,并且呈横向直线排列。

与现有技术相比，该实用新型的有益效果：本实用新型将抽风管道增加到4个且错开的排布，降低抽风管道离液面的高度。抽风压强也降低在70左右。可以很好的降低方块电阻（在8以下），且提高方块电阻的均匀性；如果4个抽风管道，还无法将槽体的酸气很好的排走，槽体里的酸气浓度过高，导致方块电阻上升值在8左右，本实用新型还在在槽盖上设有排填充氮气的填充管道，可以很好地降低方块电阻，在5左右。且方块电阻的均匀性得到很好控制。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

实施例：

参见图1，可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽1以及抽风管道2,蚀刻槽1内设有溶液，所述抽风管道2为四根,并且相邻两抽风管道2之间相互呈高低错位,各抽风管道2的管道口处于同一水平面,在本实施例中，所述朝向溶液的管道口与溶液的液面距离为8cm，还包括填充管道3,填充管道3设置在盖板上，在本实施例中，所述填充管道3为数个,并且呈横向直线排列。

本实用新型可以减少湿刻方快电阻上升值，提高方阻均匀性；效率分档明显减少，高效片比例增加；由于方阻不均导致的效率波动明显改善；其它工艺条件不变的情况下效率提高；单片功率提升；单片效率提升。本实用新型在于加设了填充管道3，可排冲氮气，起到控制方块电阻均匀性的功能。