[实用新型]一种洁净室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种洁净室。

背景技术

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。洁净室最主要的作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。因而目前在电子行业得到了广泛应用。

现有的洁净室主要包括洁净空间、新风输送系统和一般排气系统（General Exhaust）；由于洁净空间内设有各种加工设备和辅助设备，这些设备在工作过程中会产生大量的废气及热能，需要通过一般排气系统排出洁净室之外；而新风输送系统则是给洁净空间输送洁净的新风，以补充排出的空气，从而保证洁净空间内气压的平衡。

然而，由于新风输送系统一般都是直接利用外部的大气，因此得到的新风的温度一般在16~18℃。而洁净空间的温度一般控制在23℃作用，因而需要对新风进行除湿或加湿、加热，这显然需要消耗大量的能源。另一方面，由一般排气系统排出洁净室之外的废气（一般可能含有微量污染物的废气）则具有较高的温度（一般在35℃左右），而现有技术在中，这部分废气一般是通过一般排气系统直接排到大气中。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种洁净室。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种洁净室，包括洁净空间、新风输送系统和一般排气系统，还设有温度转换装置，温度转换装置的一端与所述新风输送系统热连通，另一端与所述和一般排气系统热连通，使新风输送系统和一般排气系统之间产生热量交换。

上文中，新风输送系统内的新风和一般排气系统内的废气之间是相互隔离的，即两者是不接触的；这是因为废气中可能含有污染物。

对于新风输送系统和一般排气系统而言，两者都具有主管和支管，分布于洁净室各处。所述温度转换装置优选设于新风输送系统和一般排气系统的总管处，具体位置可以按实际情况确定及调整。

上述技术方案中，所述温度转换装置为热管或水循环系统。该温度转换装置的作用是实现新风输送系统和一般排气系统之间的热量交换，可以采用现有设备。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型设计得到了一种新的洁净室结构，通过设置了温度转换装置，充分利用了一般排气系统的热能，并用来提高新风的送风温度，从而实现了系统节能，具有积极的现实意义。

2、本发明的装置结构简单，易于制备，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一中新风输送系统和一般排气系统热量交换的示意图。

其中：1、新风输送系统；2、一般排气系统；3、温度转换装置。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图1所示，一种洁净室，包括洁净空间、新风输送系统1和一般排气系统2，还设有温度转换装置3，温度转换装置的一端与所述新风输送系统热连通，另一端与所述和一般排气系统热连通，使新风输送系统和一般排气系统之间产生热量交换。

上文中，新风输送系统内的新风和一般排气系统内的废气之间是相互隔离的，即两者是不接触的；这是因为废气中具有污染物。

对于新风输送系统和一般排气系统而言，两者都具有主管和支管，分布于洁净室各处。所述温度转换装置优选设于新风输送系统和一般排气系统的总管处，具体位置可以按实际情况确定及调整。

所述温度转换装置可以采用热管或水循环系统。该温度转换装置的作用是实现新风输送系统和一般排气系统之间的热量交换，可以采用现有设备。