[实用新型]一种角度可调式扫描电镜用样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜用样品台，特别是一种角度可调式扫描电镜用样品台。

背景技术

扫描电镜一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。

扫描电镜的另一个重要特点是景深大，图象富立体感。扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图象景深大，故所得扫描电子象富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜多得多的信息，这个特点对使用者很有价值。扫描电镜所显示的断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，有不可替代的作用，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

样品台是扫描电子显微镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过光学系统成像表征样品的局部特征。然而，样品断面、尤其是片状样品的端面无法稳定地放置在普通的样品台上，且常与样品台不平行。因此，扫描电镜用样品台的创新和改进是急需解决的问题。 

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本实用新型之目的就是提供一种角度可调式扫描电镜用样品台，可有效解决样品台无法将样品的端面稳定放置，造成的成像模糊的问题。

本实用新型解决的技术方案是，包括基台体、断口样品固定台体和支撑杆，其特征在于，基台体上装有断口样品固定台体和支撑杆，断口样品固定台体的一端经第一铰接件与基台体的一侧相连，构成第一转动副，断口样品固定台体的下部平面中间均布有在同一条直线上的若干半球形槽，支撑杆的一端经第二铰接件与基台体的另一侧相连，构成第二转动副，支撑杆的另一端置于半球形槽内，构成断口样品固定台体的倾斜角度调节结构。

本实用新型结构新颖独特，简单合理，易加工，成本低，适用于各种扫描电镜，可同时安放多个样品，安装方便简单，样品固定牢固且成像效果好，减小了样品的制备难度，大大提高扫描电镜的工作效率，是扫描电镜用样品台上的创新。

附图说明

图1为本实用新型的剖面主视图。

图2为本实用新型支撑杆的剖视结构图。

图3为本实用新型断口样品固定台体的局部剖面仰视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。

由图1至图3给出，本实用新型包括基台体、断口样品固定台体和支撑杆，基台体1上装有断口样品固定台体4和支撑杆3，断口样品固定台体4的一端经第一铰接件5与基台体1的一侧相连，构成第一转动副，断口样品固定台体4的下部平面中间均布有在同一条直线上的若干半球形槽8，支撑杆3的一端经第二铰接件2与基台体1的另一侧相连，构成第二转动副，支撑杆3的另一端置于半球形槽8内，构成断口样品固定台体4的倾斜角度调节结构。

为保证使用效果，所述的支撑杆3由下部的内螺纹管6和上部的外螺纹管7旋装在一起构成长度调节装置，内螺纹管6的下部经第二铰接件2与基台体1相连，外螺纹管7的上部置于半球形槽8内；

所述的基台体1为圆形；

所述的基台体1左、右两侧有相对应的第一凸台1a、第二凸台1b，断口样品固定台体4的固定端上有圆孔9，第一铰接件5穿过圆孔装在第一凸台1a上，构成断口样品固定台体转动结构，支撑杆3固定端有通孔11，第二铰接件2穿过通孔装在第二凸台1b上，构成支撑杆转动结构；

所述的支撑杆3上的螺纹采用细牙螺纹，以确保可以对样品的水平度进行微调。

申请人要指出的是，本申请上述给出的仅仅是一种实施例，并不是用于限制本申请的保护范围，凡是用等同或等效替代手段所做出与本申请本质上相同的技术方案均属于本申请的保护范围。

本实用新型的使用情况是，首先将样品10用导电胶12粘附在断口样品固定台体4的上表面，观察样品与基台体1的平行度，然后旋转外螺纹杆7进行长度调节，若仍无法达到水平要求，则改变外螺纹杆另一端在半球形槽8中的位置，样品通过断口样品固定台体4的转动平行于基台体1，再将其放入扫描电镜的检测腔体中检测样品的断口形貌。本实用新型结构新颖独特，简单合理，易加工，成本低，适用于各种扫描电镜，可同时安放多个样品，安装方便简单，样品固定牢固且成像效果好，减小了样品的制备难度，大大提高扫描电镜的工作效率，是扫描电镜用样品台上的创新。