[实用新型]一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，更具体地说，涉及一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板。

背景技术

单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备，其主要生产过程是将原料多晶硅块放入到单晶炉中，然后使用单晶炉的加热器对其进行加热，使多晶硅块熔化为多晶硅溶液，然后在籽晶的引导下冷凝生成单晶硅固体。在上述多晶硅块熔化成溶液的过程中，存在于多晶硅块中的杂质会挥发到热场中，同时在熔化的过程中也会由于高温而产生硅蒸汽，而热场中的杂质会对后续的单晶硅生长造成一定的影响，所以一般会将挥发出的杂质排出单晶炉，硅蒸汽也会随着气流一同排出，当单晶炉使用下排气的方式排除杂质时，含有杂质和硅蒸汽的气流流经单晶炉的导流筒下部、溶液液面和加热器，并最终从排气口排出单晶炉。

在单晶炉的内部热场中，受到加热器形状和大小的限制，热场中各点的温度不尽相同，即热场中存在温度差。在竖直方向上，内部热场中加热器01中心部分温度最高，远离加热器01的上端部和下端部的温度随着距离的增大逐渐降低，而加热器01的电极连接脚02则正处于加热器01下端部的低温区，且采用下排气方式排出的硅蒸汽会流经此处，所以在电极连接脚02的正上方覆盖有矩形石墨盖板03，以对电极连接脚02进行保温和防护，如图1所示。此矩形的石墨盖板03在其两个短边和一个长边的边缘处均设置有垂直其平面凸出的挡边，使其一侧形成凹槽，如图2所示，石墨盖板03在安装到电极连接脚的上方时，挡边位于石墨盖板03的下方，与电极连接脚02靠近设置，但不与电极连接脚02贴合。

在实际的生产过程中，硅蒸汽在流经电极连接脚02处时，会因为温度的降低而产生一定程度的冷凝，进而形成固体附着在电极连接脚02上，一旦硅蒸汽冷凝而形成的固体过多，其会将用于连接电极连接脚02和石墨电极的石墨螺丝04与电极连接脚02粘接为一体，不方便加热器01的拆卸，严重时需将石墨螺丝04锯断才能将加热器01取出，造成了不必要的损失，进而增加了生产成本。

综上所述，如何提供一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板，以减少石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象出现，进而降低损坏石墨螺丝的几率以节约生产成本，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板，其减少了石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象出现，进而降低损坏石墨螺丝的几率以节约生产成本。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板，包括本体，其还包括：

设置在所述本体表面的保温层；

覆盖在所述保温层上，且与所述本体连接以与所述本体配合将所述保温层夹紧的连接体。

优选的，上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中，所述连接体设置在所述本体形成的凹槽的内侧。

优选的，上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中，所述连接体设置在所述本体形成的凹槽的外侧。

优选的，上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中，所述连接体与所述本体为一体式设计，且构成容纳所述保温层的封闭内腔。

优选的，上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中，所述本体和连接体靠近单晶炉的加热器设置的两个角为圆角。

优选的，上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中，所述本体和所述连接体均为石墨体。

优选的，上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中，所述保温层为软毡层。

本实用新型提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中，在本体的表面上设置了保温层，并且还设置有覆盖该保温层的连接体，使得盖板在原有本体的基础上增设了保温层和连接体，与原有仅具备本体的盖板相比，不仅提高了盖板的保温效果，使得硅蒸汽在电极连接脚处冷凝形成的固体减少，而且多层结构也提高了盖板对电极连接脚的防护性，减少了冷凝固体附着到电极连接脚上的几率，进而减少甚至避免了石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象，减少了需要锯断石墨螺丝的情况，降低了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的石墨盖板与加热器、电极连接脚配合的示意图；

图2为现有技术提供的石墨盖板的结构示意图；