[实用新型]弹性波滤波器及具备该弹性波滤波器的弹性波装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种频率温度特性优良的弹性波滤波器以及具备该弹性波滤波器的弹性波装置。 

背景技术

弹性波滤波器作为带通滤波器被广泛用于移动电话等此类通信设备上。近年来，随着移动电话等的高性能化，弹性波滤波器也被要求高性能化。 

但是，一般的弹性波滤波器存在随温度变化频率特性发生变化的问题。目前经常被使用的铌酸锂和钽酸锂，电气机械耦合系数大，虽然有利于实现宽带滤波特性，但是由于热膨胀系数大，因此温度稳定性差。 

例如，使用42°Y切割的钽酸锂的弹性表面波滤波器的频率变化温度系数约为-40ppm/℃，要实现近年来要求的高性能是非常困难的。因此，有必要降低频率变化的温度系数。 

为了改善温度特性，尝试接合热膨胀系数大的压电基板和热膨胀系数小的支撑基板来试图降低频率变化的温度系数。 

实用新型内容

实用新型要解决的课题 

但是，就上述现有弹性波滤波器而言，因为具有粘合了非常薄的压电基板和支撑基板的复合结构，所以存在使弹性波滤波器的操作变困难的问题。例如，将上述弹性波滤波器安装在组件(package)时有时产生裂缝和破损。另外，具有上述复合结构的弹性波滤波器，向通信设备安装时，进行260-280℃左右的回流焊工序，但在这样的加热工序中，因热膨胀系数差而产生的热应力集中在滤波器端部，有时引起压电基板的脱落和裂缝的产生。 

但是，在特开2001-60846中公开了一种为防止破损而在压电基板上形成了“阶梯部和切口部”的弹性波滤波器。但是，已经了解到该弹性波滤波器不能充分防止破损。 

本实用新型是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种易操作且缺陷少的弹性波滤波器。 

解决课题的方法 

为了解决上述问题，本实用新型的弹性波滤波器通过由以传播弹性波的压电晶体形成的压电基板和热膨胀系数小于所述压电基板的支撑基板而形成，所述压电基板在其侧面具有凹形圆角面。 

优选地，所述压电基板俯视呈矩形，在其4个侧面均具有所述凹形圆角面。 

另外，优选地，所述凹形圆角面从所述压电基板连续延伸至所述支撑基板。 

另外，优选地，所述压电基板的厚度t1为0.2μm≤t1≤50μm，并且，所述支撑基板的厚度t2为100μm≤t2≤500μm。 

另外，所述凹形圆角面的半径R的大小优选为10μm≤R≤200μm。 

此外，直接接合所述压电基板和所述支撑基板时，优选在所述压电基板和所述支撑基板之间具有非结晶层。此时，所述非结晶层厚度t3优选为1nm≤t3≤15nm。 

另外，没有直接接合所述压电基板和所述支撑基板时，优选在所述压电基板和所述支撑基板之间具有粘结层。此时，所述粘结层的厚度t4优选为0.1μm≤t4≤1μm。 

此外，本实用新型的弹性波装置具备被封装在组件内的弹性波滤波器，其特征在于，所述弹性波滤波器为上述方案中所述的弹性波滤波器。 

实用新型的效果 

根据本实用新型，由于压电基板在其侧面具有凹形圆角面，因此在安装弹性波滤波器的加热工序中，能够缓和滤波器端部的应力集中。由此，可以提高滤波器的耐热性，从而能够提供一种易处理而缺陷少的弹性波滤波器。 

附图说明

图1是本实用新型第一实施方案的弹性波滤波器的剖面图。 

图2是对上述弹性波滤波器凹形圆角面形成领域进行说明的部分剖面图。 

图3是对上述弹性波滤波器凹形圆角面端部形状进行说明的部分剖面图。 

图4是本实用新型的第二实施方案的弹性波滤波器的剖面图。 

附图标记说明 

1  复合基板 

10、20 凹形圆角面 

11 压电基板 

12 支撑基板 

13 非结晶层 

14 粘结层 

具体实施方式

参照附图对本实用新型的第一实施方案进行说明。图1是第一实施方案的弹性波滤波器1的剖面图。本实施方案的弹性波滤波器1具备压电基板11、支撑基板12和非结晶层13。 

压电基板11是由可以传播弹性波的压电晶体形成的基板。例如，由钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)等形成。对于压电基板11的厚度t1没有特别限定，优选为0.2μm≤t1≤50μm。