[实用新型]真空吸附载具

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光精密设备领域，具体而言，涉及一种真空吸附载具。

背景技术

激光精密加工技术在半导体、太阳能、SMT、平面显示等领域应用广泛且发展迅速。在使用激光对金属、非金属薄板材进行加工或测量的过程中，加工对象的装夹固定方式对于加工效果或测量精度存在影响。

相关的装夹固定方式由于不具有水平度调节的功能，难以满足用户在加工和测量精度方面的需求。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种真空吸附载具，以解决上述的问题。

在本实用新型的实施例中，提供了一种真空吸附载具，包括：吸附气流槽板、安装在其侧面的抽气管、安装在其底部的底座、调节螺杆和调节螺母、与所述吸附气流槽板连接装配的吸附网孔板，以及所述吸附气流槽板与所述吸附网孔板间的连接和密封构件。

本实用新型因为加入了载具水平度调节功能，所以解决了吸附固定板材与激光束的角度调节问题，提高了加工和测量的精度。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本实用新型实施例的真空吸附载具的上部示意图；

图2示出了根据本实用新型实施例的真空吸附载具的底部示意图。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。

图1和图2分别示出了根据本实用新型实施例的真空吸附载具的上部和底部构造，包括：吸附气流槽板1、安装在其侧面的抽气管2、安装在其底部的底座3、调节螺杆4和调节螺母5、与所述吸附气流槽板1连接装配的吸附网孔板6，以及吸附气流槽板1与吸附网孔板6间的连接和密封构件。

该真空吸附载具由于增加了水平度调节装置，所以解决了吸附固定板材与激光束的角度调节问题，提高了加工和测量的精度。

优选地，底座3通过调节螺杆4连接，安装在吸附气流槽板1的底部；调节螺杆4中安装有调节螺母5。

优选地，通过松开调节螺母5，并旋动调节螺杆4，调整工作台表面的水平度（即相对于激光束的垂直度）。

优选地，调节螺杆4共有8个，且于吸附气流槽板1的底部均匀分布。

优选地，吸附气流槽板1和吸附网孔板6通过螺钉连接装配，且螺钉孔从下向上安装。

优选地，吸附气流槽板1和吸附网孔板6在接缝处密封。

优选地，在吸附气流槽板1的各侧面设置多个气压转接头，并通过气管与抽气管2相互连接，以提高吸附力在载具面上的扩散速度和均匀性。

优选地，吸附网孔板采用黑色POM材料制作；相对于白色POM材料，其较强的激光吸收性能可提高材料使用寿命。

本系统是一种增加了水平度调节装置的真空吸附载具。将吸附气流槽板和吸附网孔板通过螺钉进行装配连接，并在接缝处密封。将设置在吸附气流槽板侧面的抽气管与真空泵相连接，由于吸附气流槽板内部分布有气流槽，因此在抽气状态下，吸附力可通过气流槽在载具内部扩散，再通过吸附网孔板传递到载具表面，从而实现对金属或非金属薄板材的吸附。

载具底座通过调节螺杆与吸附气流槽板底部相连接。调节螺杆均匀分布在吸附气流槽板的底部，且其中安装有调节螺母。通过松开调节螺母，并旋动调节螺杆，可以对工作台表面的水平度（即相对于激光束的垂直度）进行调节。

本真空吸附载具在相关载具基础上，通过引入水平度调节装置，使其功能性和操作性都得到了强化；不仅能够提高加工和测量的精度，而且避免了对薄、脆板材可能造成的损伤。

从以上描述可以看出，本真空吸附载具具有以下有益效果：

1、在保证吸附稳固程度的同时，使吸附更平整、定位更精确；

2、角度的配合调节，增强了装置的灵活性，可提高综合加工测量精度，并扩大加工测量范围；

3、避免由于角度限制而对材料可能造成的破坏。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。