[实用新型]拆卸装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种拆卸装置，特别是涉及一种用于拆卸沉积设备零部件的拆卸装置。

背景技术

薄膜沉积的方法主要分为物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）和化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）两大类。其中，化学气相沉积(Chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。化学气相沉积因其工艺较为简单，不需要高真空、便于制备复合产物、沉积速率高，以及沉积的各种薄膜具有良好的阶梯覆盖性能等优点，在半导体器件的制造中被广泛采用。

化学气相沉积设备（CVD设备）中的薄膜沉积是在反应室中进行的，且反应室中存在必不可少的加热部件（heater block），主轴和转动轴分别位于该加热部件的上方及下方，如图1所示，转动轴5上表面覆盖有具有凸缘61的蘑菇状轴连接件6，且该轴连接件6位于所述加热部件中形成的深孔中，所述主轴与转动轴通过螺钉固定于该位于深孔的轴连接件上，并通过该轴连接件进行连接。根据零件的维护检查要求，需定期对安装于深孔中的零件进行拆卸检查或加以更换，尤其是位于加热部件深孔中的轴连接件。

但是，该轴连接件由于直接位于所述反应腔中，在CVD设备的反应腔进行成膜工作之后，所述轴连接件容易同时被覆盖膜，加大了拆卸该轴连接件的难度。

该轴连接件的传统拆卸方法是使用大力钳夹持该轴连接件凸缘的侧面并做向上牵引运动，不过，由于大力钳与该轴连接件凸缘的侧面和下表面相接触，则使用大力钳时，不仅对该轴连接件施加了沿转动轴心方向的向上的牵引力，同时对所述轴连接件及位于其下的转动轴不可避免地施加了垂直于转动轴轴心方向的水平力，该水平力很容易造成位于该轴连接下的转动轴的变形或轴心偏移。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种拆卸装置，用于解决现有技术中拆卸覆盖转动轴的轴连接件时易导致转动轴变形或轴心偏移的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种拆卸装置，所述拆卸装置至少包括：

支撑部件、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件；

所述支撑部件包括多个等高的支撑纵杆及位于各该支撑纵杆顶端同一侧且与各该支撑纵杆固定连接的支撑面，其中，所述支撑面中开设有一具有内螺纹的通孔； 

所述旋转升降部件包括穿设于所述通孔内、设有与所述通孔内螺纹啮合的外螺纹的螺栓、连接于所述螺栓下部的两个环形固定垫片、及位于所述支撑面之上且连接于所述螺栓的手柄； 

所述拔卸部件包括套设于所述螺栓且卡合于两个所述固定垫片之间的水平架、一端连接于所述水平架且在所述水平架中可水平调整连接位置的多个纵向杆体、及连接于各该纵向杆体的另一端且与各该纵向杆体的连接角度可调的钩体部。

可选地，所述支撑面背面设有一限制所述环形固定垫片向上移动的限位件。

可选地，所述限位件为套设于所述螺栓上的中空筒状结构，且所述限位件的直径小于所述环形固定垫片的外圆直径。

可选地，所述支撑面上表面设有一环形缓冲垫片，且所述螺栓穿设于所述环形缓冲垫片中。

可选地，所述螺栓下部沿其横截面方向开设有与所述环形固定垫片匹配的两个平行的环形槽；所述环形固定垫片为两部分，一紧固件将所述两部分环形固定垫片连接且使其固定于所述环形槽中。

可选地，所述环形固定垫片设有与所述螺栓的外螺纹啮合的内螺纹，且所述的环形固定垫片与螺栓通过螺纹连接固定于所述螺栓的下部。

可选地，所述水平架为平面板体，且所述水平架的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的多个凹槽的，各该纵向杆体的一端连接于水平架的各该凹槽中。

可选地，所述水平架为位于同一平面、且一端相互连接形成有连接部的多脚架，所述螺栓穿设于多脚架的连接部，所述多脚架的每个脚部的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的凹槽，各该纵向杆体的一端连接于与水平架的各该凹槽中。

可选地，各该纵向杆体通过穿设于所述水平架且旋紧于所述纵向杆体的紧固件固定于各该凹槽中。

可选地，所述钩体部通过旋紧所述的钩体部至纵向杆体的紧固件固定预调整的角度。