[实用新型]补液装置

权利要求书

1.一种补液装置，其特征在于，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。 

2.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述化学药液供给管路上设有化学药液供给气动阀。 

3.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述超纯水供给管路上设有超纯水供给气动阀。 

4.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述超纯水定量补给管路上设有超纯水定量补给气动阀、总补给气动阀以及定量泵。 

5.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述循环管路上依次设有将所述储液罐中的化学液输送到相应工艺单元的工艺气动阀、液体传输泵、手阀和将所述储液罐中的化学液加热过滤的加热过滤器。 

6.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，补液装置还包括：用于将工艺单元中的化学药液回收到所述储液罐中的回收管路。 

7.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，补液装置还包括：位于储液罐侧面用于感测化学液的液位传感器。 

8.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述储液罐为并行的两个储液罐。