[实用新型]层压机的真空压力控制装置有效
| 申请号: | 201220509726.4 | 申请日: | 2012-10-08 |
| 公开(公告)号: | CN202895869U | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
| 发明(设计)人: | 魏荣章;刘振波;张宏飞 | 申请(专利权)人: | 江苏永能光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | B32B37/10 | 分类号: | B32B37/10;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 黄春松 |
| 地址: | 215600 江苏省苏州市张家*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 层压 真空 压力 控制 装置 | ||
1.层压机的真空压力控制装置,包括:二台真空泵,其特征在于:每台真空泵分别通过一个总控制阀与真空主管相连接,真空主管通过第一控制阀与层压机下腔相连接、真空主管通过第二控制阀与层压机上腔相连接;层压机下腔还连接有与大气相通的第一充气管,第一充气管上设置有第一气动阀和第一流量控制充气阀;层压机上腔连接有与大气相通的第二充气管,第二充气管上设置有第二气动阀和第二流量控制充气阀,层压机上腔还连接有与大气相通的、带第二慢速充气阀的第二充气支管,层压机上腔与真空主管之间还连接有带第三慢速充气阀的第三充气支管。
2.根据权利要求1所述的层压机的真空压力控制装置,其特征在于:层压机下腔还连接有与大气相通的、带第一慢速充气阀的第一充气支管。
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